تشاك الكهروستاتيكي
ظرف كهروستاتيكي متوافق مع كثافة عالية وقوة هيكلية عالية مع تخصيص
سمات
التوافق | التخصيص | كثافة عالية | قوة هيكلية عالية | تسليم سريع | فعالية من حيث التكلفة
التطبيقات
زراعة الأطوال الموجية | غشاء رقيق | حفر | تطوير العمليات | تصميم المعدات
التصميم والتصنيع
تم تسليم مصنع مقاس 12 بوصة للتحقق من الأداء الفعلي وتوفير التجديد والإصلاح والتحقق من التطوير والتصميم.
مع تطور معدات وتقنيات معالجة أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة، فإن المقابض الكهروستاتيكية التقليدية التي تستخدم مواد بوليمرية عضوية وأكاسيد معدنية ومواد سيراميكية كمواد عازلة لا تتوافق تمامًا مع مواد مثل رقائق السيليكون والياقوت وكربيد السيليكون. لذلك، ستتطور تدريجيًا المقابض الكهروستاتيكية المتوافقة مع الجيل الأول والثاني والثالث من مقابض رقائق أشباه الموصلات.
ظرف/سخان كهروستاتيكي بوليمري
تُعد مادة البوليمر العازلة (البوليمر) حاليًا أكثر مواد التشك الكهروستاتيكي استخدامًا، كما أن عملية تحضيرها هي الأكثر نضجًا. بعد معالجة تعديل البوليمر، ستتحسن خصائصها الكهربائية والميكانيكية ومقاومة الحرارة ومقاومة الهالوجين بشكل كبير. تُنمَّط المادة العازلة من خلال عمليات متكاملة أخرى، ثم تُرصَّف تحت حمولة ثقيلة متعددة المراحل، وتُشكَّل طبقة عازلة كثيفة بين الأقطاب الداخلية.
ظرف كهروستاتيكي بوليمر
يتم استخدام تقنية تعديل البوليمر لتحقيق مقاومة إجمالية أعلى وثابت عازل نسبي، والحصول على قوة تثبيت أكثر استقرارًا.
يمكن للمواد العازلة عالية الكثافة أن تقلل من خطر الجسيمات وتقلل من حركة الأيونات.
يمكن أن تكون مجموعة متنوعة من أدوات التثبيت متوافقة مع تثبيت رقائق من مواد مختلفة.
مقاومة ممتازة للتآكل في أجواء الهالوجين والبلازما.
أداء عالي التكلفة، وفترة قبول قصيرة، ومناسب لتطوير عملية المنتج والتحقق من تطوير المعدات الجديدة.
ظرف بوليمر إلكتروستاتيكي مع سخان
يمكنه تحقيق تخطيط مناطق درجة حرارة التدفئة المتعددة (ما يصل إلى 20 منطقة درجة حرارة)، ولديه توحيد جيد لدرجة حرارة التدفئة (±5%℃@150℃).
يتم استخدام تقنية الترقق الفراغي لتحقيق كثافة عالية للغاية ودرجات حرارة تسخين تصل إلى 200 درجة مئوية.
منحنى تسخين موحد، مع نطاق أوسع من إعدادات منحنى درجة الحرارة.
أداء عالي التكلفة، وفترة قبول قصيرة، ومناسب لتطوير عملية المنتج والتحقق من تطوير المعدات الجديدة.
ظرف/سخان كهروستاتيكي سيراميكي
تقنية التخثر السيراميكي هي عملية تلبيد مُحسّنة تُستخدم في تطوير مشابك وسخانات سيراميكية كهروستاتيكية من الألومينا/نيتريد الألومنيوم. تعتمد هذه التقنية على استخدام مساحيق سيراميكية متنوعة بقطر نانومتري، تُخلط بنسب محددة عبر معدات خلط وعملية خلط فريدة. تم تلبيد مشابك السيراميك الكهروستاتيكية عالية الكثافة، وبنية بلورية مستقرة، وتوزيع موحد للمقاومة، باستخدام منحنى درجة حرارة تلبيد محدد في معدات التلبيد. تتميز المشابك الساكنة المُصنّعة بتقنية التخثر السيراميكي بكثافة عالية، وبنية بلورية مستقرة، وتوزيع موحد للمقاومة، مما يُمكّنها من تحقيق وظيفة التثبيت الطبيعية للرقاقة في البيئات القاسية، مثل الفراغ العالي، والبلازما، والهالوجين.
ظرف كهروستاتيكي Al₂O₃
يتم التحكم في مقاومة الحجم من خلال تقنية السيراميك التخثر وعملية الحرق المشترك للحصول على قوة احتجاز أطول.
إن البنية الداخلية للتلبيد عالي الحرارة كثيفة والبنية البلورية مستقرة، ويمكن الحصول على قدرة الاحتفاظ بفاصل درجة حرارة أكبر.
يقلل القالب المدمج المشترك من هجرة الأيونات.
عملية دائمة في جو فراغ الهالوجين البلازمي.
ظرف إلكتروستاتيكي AlN
من خلال التحكم في تركيب ونسبة مادة الخرسانة، يمكن التحكم في مقاومة الحجم والحصول على قدرة الاحتفاظ في فترة درجة حرارة أكبر.
يتم ضمان توزيع منطقة درجة الحرارة الموحدة من خلال تقنية التلبيد وعملية الحرق المشترك للسيراميك الخرساني.
عملية صب مشتركة متكاملة لتحقيق أقصى قدر من جودة المنتج.
عملية دائمة في جو فراغ الهالوجين البلازمي.
ظرف سيراميك إلكتروستاتيكي مع سخان
يمكنه تحقيق تخطيط مناطق درجة حرارة التدفئة المتعددة، ولديه توحيد جيد لدرجة حرارة التدفئة (±7.5%℃@350℃).
يتم استخدام تقنية التلبيد بالتصفيح الفراغي لتحقيق تكثيف ودرجات حرارة تسخين عالية للغاية تصل إلى 550 درجة مئوية.
عملية صب مشتركة متكاملة لتحقيق أقصى قدر من جودة المنتج.
عملية دائمة في جو فراغ الهالوجين البلازمي.
ظرف/سخان كهروستاتيكي من النوع المعقد
متوافق مع السيليكون، وزرنيخيد الغاليوم، وكربيد السيليكون، والياقوت في تثبيت الرقاقة، مما يُقلل من تكاليف تغيير الأسلاك لمصنعي المعدات والمستخدمين النهائيين. بالاعتماد على تقنية السيراميك الخرساني وتقنية تعديل البوليمر، يُمكن استخدام تقنية التصفيح الفراغي المتكامل والترابط الساخن لتقليل المقاومة الحرارية الداخلية للمصاص الكهروستاتيكي، وتحقيق درجة حرارة داخلية موحدة، وتشكيل طبقة عازلة كثيفة لتحسين أداء مقاومة انتقال الأيونات.
ظرف إلكتروستاتيكي من النوع المعقد
إن استخدام تكنولوجيا تعديل الخرسانة والسيراميك والبوليمر، يؤدي إلى بنية أكثر كثافة وانبعاث غاز أقل.
تحكم أكثر إحكامًا في الطبقة العازلة وسمك مجموعة الأقطاب الكهربائية.
يمكن أن تكون مجموعة متنوعة من أدوات التثبيت متوافقة مع تثبيت الرقائق المختلفة.
يمكن التحكم بدقة في مقاومة الجسم للحصول على قدرة تحمل كهروستاتيكية أقوى.
أداء عالي التكلفة، وفترة قبول قصيرة، ومناسب لتطوير عملية المنتج والتحقق من تطوير المعدات الجديدة.
ظرف إلكتروستاتيكي من النوع المركب مع سخان
يمكنه تحقيق تخطيط مناطق درجة حرارة التدفئة المتعددة، ولديه توحيد جيد لدرجة حرارة التدفئة (±3.5%℃@150℃).
يتم استخدام تقنية الترقق الفراغي لتحقيق كثافة عالية للغاية ودرجات حرارة تسخين تصل إلى 200 درجة مئوية.
منحنى تسخين موحد، مع نطاق أوسع من إعدادات منحنى درجة الحرارة.
أداء عالي التكلفة، وفترة قبول قصيرة، ومناسب لتطوير عملية المنتج والتحقق من تطوير المعدات الجديدة.