أخبار
تقنية تشاك سيراميك الرقاقة
رقاقة الوافرتُستخدم هذه المواد لمعالجة أو تثبيت الرقاقات أو الركائز في تطبيقات معالجة الرقاقات. وهي مكونات أساسية لتصنيع الرقاقات واختبارها في بيئة تصنيع نظيفة. قد تشمل خطوات معالجة الرقاقات والركائز التلميع الرقيق أو التسوية الكيميائية الميكانيكية، وترسيب الأغشية الرقيقة (PVD أو CVD أو الترسيب الكهربائي)، والتلميع، والحفر، والنقش، أو الطباعة الحجرية، والطلاء الدوراني للمقاومة الضوئية، وزرع الأيونات، والانتشار، وأكسدة نمو الغشاء العازل.
الرقاقات والركائز رقيقة جدًا، لذا فإن تثبيتها بمشابك الحافة، كما هو الحال مع المشبك التقليدي، قد يُسبب انحناءً أو تشوهًا شديدًا وتلفًا للرقاقات. تشمل تقنيات تثبيت الرقاقات الشائعة التفريغ، والكهرباء الساكنة، والميكانيكية، والمغناطيسية. وبغض النظر عن تقنية التثبيت، توفر جميع مقابض الرقاقات تناسق التثبيت المطلوب دون تشويه أو تلف.
المقابض المحيطة - تعمل المقابض المحيطة أو المقابض غير الحرارية في درجة حرارة الغرفة المحيطة دون تسخين أو تبريد.
الأجزاء الحرارية - تحتوي الأجزاء الحرارية على وظائف تسخين أو تبريد متكاملة للحفاظ على الرقائق أو الركائز في درجات حرارة محددة أثناء المعالجة أو الاختبار.
فيما يلي المؤشرات الفنية الرئيسية لقطعة الرقاقة:
قوة الامتزاز والتسطيح: يجب أن يتمتع ظرف رقاقة الطباعة بقوة امتزاز كافية لتثبيت الرقاقة. يُثبّت الظرف الساكن الرقاقة بقوة عن طريق الامتزاز الكهروستاتيكي، خاصةً عند التشغيل في بيئة مفرغة، كما أن قوة الامتزاز موزعة بالتساوي لتقليل التلوث والإجهاد على سطح الرقاقة. يُعد تسطيح ظرف رقاقة الطباعة مؤشرًا مهمًا، ويُقاس عادةً بالميكرون. في الطباعة الحجرية تحت الأشعة فوق البنفسجية الشديدة، يلزم ظرف رقاقة طباعة ذي تسطيح عالٍ للتركيز.
إمكانية التحكم في درجة الحرارة: ثبات حراري وتوحيد حراري. يتطلب الأمر تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة أثناء معالجة الرقاقة. كما تتميز العديد من المقابض الثابتة بتسخين سيراميكي لضمان تثبيت سلس للرقاقة ودقة في التشغيل عند درجات الحرارة العالية.
التوافق مع الفراغ: يجب أن يكون من الممكن استخدام ظرف الرقاقة في بيئة الفراغ، وخاصة في النقش البلازمي، والترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، وزرع الأيونات وغيرها من العمليات، مما يضمن عدم المساس بالاستقرار في التشغيل عالي الدقة.
مكافحة التلوث: يجب أن تُقلل رؤوس الرقاقات من إنتاج الجسيمات والملوثات الأخرى لضمان إنتاجية عالية للرقاقات أثناء التصنيع. تتميز تقنية الامتزاز الكهروستاتيكي بمزايا تُضاهي طرق التثبيت الميكانيكية التقليدية، إذ تُقلل بشكل كبير من الغبار الناعم والحطام الناتج أثناء عملية التثبيت.
الحجم والتسطيح: يعد حجم المخرطة ونعومة السطح أحد العوامل الرئيسية التي تؤثر على جودة معالجة الرقاقة، وعادةً ما تكون هناك حاجة إلى الوصول إلى مستوى النانومتر من التسطيح لتجنب التشوه أو التلف الذي يلحق بالرقاقة بسبب المخرطة غير المستوية.
العزل الكهربائي: فيتشاك الكهروستاتيكييُعد العزل الكهربائي لمادة المخرطة أمرًا بالغ الأهمية. فالعزل الكهربائي عالي الجودة يمنع تلف الرقاقة أثناء الامتصاص الكهروستاتيكي.
المواد الرئيسية:
سبائك الألومنيوم - بفضل خفة وزنها ومتانتها العالية وموصليتها الحرارية الجيدة، تُعد هذه المادة من أكثر المواد استخدامًا في مشابك الرقائق. وهي مناسبة بشكل خاص للمشابك الكهروستاتيكية والتحكم الحراري أثناء المعالجة.
البوليمرات: قد تحتوي بعض أحزمة الرقاقة المتخصصة على مواد بوليمرية لتأمين ركائز دقيقة أو للتطبيقات المرنة الأقل تطلبًا والتي لا داعي للقلق بشأن درجات الحرارة القصوى.
السيراميك - تُعدّ أطواق السيراميك، مثل الألومينا أو كربيد السيليكون، شائعة الاستخدام في التطبيقات عالية الدقة بفضل ثباتها الحراري الممتاز، وعزلها الكهربائي، ومقاومتها للتلف الكيميائي. السيراميك هو عازل كهربائي أو شبه موصل، ويتميز بمقاومة عالية للانهيار الحراري، والتآكل، وتدهور السطح (مثل التلف أو التآكل النقطي).
الفولاذ المقاوم للصدأ: يُستخدم الفولاذ المقاوم للصدأ لتحقيق الاستقرار الميكانيكي والمتانة. ويُستخدم عادةً في البيئات التي تتطلب مقاومة كيميائية وتلوثًا منخفضًا، مثل العمليات الرطبة.
يضمن اختيار المواد أن يتمكن المخروط من تحمل الظروف القاسية لتصنيع أشباه الموصلات، مثل درجات الحرارة العالية والمواد الكيميائية والضغوط الفيزيائية، مع الحفاظ على الدقة المطلوبة لمعالجة الرقاقة.
الطبقة الصلبة.
مطلي (ذهب أو نيكل)
طلاء الرش الحراري.
طلاء الفيلم الرقيق
Fountyl Technologies Pte Ltd. هي شركة حديثة في منتجات السيراميك المتقدمة، وتقدم أجزاء وخدمات للسيراميك الدقيق، والألومينا، والزركونيا، وكربيد السيليكون، ونتريد السيليكون، والسيراميك المسامي، وزجاج الكوارتز. من إعداد المواد الخام، والقولبة، وطحن السطح، وطحن القطر الداخلي والخارجي، إلى المعالجة الرقمية لآلة CNC، وهي شركة بحث وتطوير وإنتاج وبيع منتجات السيراميك عالية الدقة.قطع السيراميكيمكن للشركة المصنعة توفير خدمة التنظيف فائق الدقة الداعمة، وطلاء DLC، وطلاء Teflon™ لورشة التنقية.
