طاولة هوائية عائمة
منصة عائمة هوائية مسامية مع تقنية نقل الحمل بوضع عدم التلامس لصناعة أشباه الموصلات
تعتمد منصة الهواء العائمة التقليدية بشكل عام على تقنية خنق الثقب الصغير أو خنق الحلق أو خنق الشق، والتي تتميز بتقنية المعالجة البسيطة، ولكن عندما يتغير ضغط الهواء المزود، يكون من السهل إنتاج ظاهرة الصفير، والصوت حاد، كما تتقلب قدرة التحمل أيضًا، وهو ما لا يناسب بيئة العمل الهادئة والمستقرة.
يتم تنفيذ ركائز زجاج TFT-LCD التقليدية بواسطة أذرع روبوتية (روبوتات) وأنظمة AGV (مركبة موجهة آليًا). ركيزة الزجاج في عملية الإنتاج. إنها عملية تلامس مع منصة تحويل الحمل (أو الأسطوانة). عندما تكون ركيزة الزجاج على اتصال بمنصة تحويل الحمل أو الأسطوانة، فإن اللمس والاحتكاك يسببان مشاكل التلف أو العيوب هذه مثل الزوايا المفقودة والتشقق والتلف والتلوث والكهرباء الساكنة على سطح ركيزة الزجاج، ومن ثم تؤثر على إنتاجية الإنتاج وجودة المنتج، بالإضافة إلى استخدام حمولة نقل دوران الأسطوانة، لا تزال هناك مشاكل فنية يجب التغلب عليها. هذه المشاكل لها تأثير عميق على كفاءة إنتاج ركائز الزجاج كبيرة الحجم وهناك حاجة ماسة إلى تحسينها. إذا كانت تقنية منصة الهواء العائمة غير التلامسية يمكن أن تحل محل المشاكل الناجمة عن تقنية تحويل الحمل التلامسية التقليدية، فستكون حلاً فعالاً. مزايا نظام التعويم الهوائي:
1. احتكاك صفري.
2. لا يوجد أي تآكل.
3. الحركة المستقيمة، الحركة الدورانية قابلة للتطبيق.
4. تشغيل صامت وسلس.
5. التخميد العالي.
6. إزالة الزيت.
يتكون هيكل منصة الهواء العائمة من سيراميك نانوي المسام مُدمج في القاعدة لتشكيل حجرة تفريغ. يُدخل هواء مضغوط نظيف، خالٍ من الماء والزيت، إلى فجوة وضع الهواء بين سطح المحمل وسكة التوجيه الهوائية العائمة عبر أنبوب الغاز. يتدفق الغاز في فجوة وضع الهواء ليجعل سطح المحمل يطفو على سكة التوجيه الهوائية العائمة. يعمل الغاز كمزلق لتحريك أو نقل الأشياء دون احتكاك.
بناء ثقب الهواء العائم المشترك:
أ) هيكل خنق الفتحة
ب) البنية المسامية
أكبر حجم مخصص: الطول 1600 مم، العرض 1000 مم
تهدف معدات النقل والتحميل غير التلامسية بشكل رئيسي إلى تحسين مشاكل تقنية المناولة التقليدية بعد ازدياد حجم الركيزة الزجاجية، وذلك لأنها لا تتلامس مباشرةً مع جسم التشغيل أثناء عملية النقل والتحميل، مما يُجنّبها التصاق الملوثات والإجهاد والكهرباء الساكنة وتلف الركيزة الزجاجية. من ناحية أخرى، تُقلّل المواد المسامية تدفق الغاز بشكل كبير، وتحقق ضغط هواء موحدًا وتوزيعًا جيدًا للوسادة الهوائية، وتوفر ارتفاعًا عائمًا كافيًا للتشغيل.