شعاع مربع وسكة توجيه لمنصة الحركة فائقة الدقة ومعدات الكشف

على سبيل المثال، فإن المادة المستخدمة في أوائل عصر رقائق بقياس 2 و4 بوصات هي الألومنيوم المستخدم في صناعة الطائرات، ولكنها واجهت مشكلة التسطيح الفائق (أفضل من ميكرون واحد) في عصر الرقائق كبيرة الحجم (8 بوصات فأكثر من 8 بوصات)، مما أدى إلى عدم قدرتها على تلبية مؤشر صلابة التسطيح الفائق، مما أدى إلى استبعادها. بعد ذلك، تُستخدم مادة الألومينا كعامل انتقالي، حيث تتميز بمعامل مرونة، وخفة وزن، وموصلية حرارية، ومعامل تمدد، وقوة كربيد السيليكون، ولكنها لا تُقارن ببعض العيوب. بعد التطور الهائل في تكنولوجيا تحضير سيراميك كربيد السيليكون ذي الهيكل المجوف الخاص ذي الحجم الكبير والمعقد، تم تطوير مكونات تشمل قاعدة قطعة العمل فائقة الدقة، ودليل تعويم هوائي فائق الدقة، وذراع نقل الرقاقة.

ليس فقط أجزاء سيراميك كربيد السيليكون المذكورة أعلاه التي تلبي مؤشرات الدقة الفائقة على التسطيح والتوازي والرأسي، بالنسبة لأجزاء سيراميك كربيد السيليكون عالية النقاء المطلوبة لعمليات انتشار الرقاقة والتشويب والحفر في صناعة أشباه الموصلات، وخاصة في تكنولوجيا تحضير المواد CVDSiC عالية النقاء، لديها تكنولوجيا عملية ناضجة، وأدركت تصنيع قارب الكريستال السيراميك كربيد السيليكون عالية النقاء، لوحة تحمل السيراميك كربيد السيليكون، منصة حركة الهواء العائمة السيراميك كربيد السيليكون، منصة متحركة فائقة الدقة كربيد السيليكون، سكة توجيه كربيد السيليكون، مكونات سكة انزلاق كربيد السيليكون.

في المستقبل، سنواصل توسيع نطاق استخدام مواد كربيد السيليكون في صناعة أشباه الموصلات، ونساهم في تطوير سلسلة صناعة أشباه الموصلات وصناعة سيراميك كربيد السيليكون. وقد بدأ البحث المستقل في الصين عن مكونات سيراميك كربيد السيليكون الدقيقة، وترويج التطبيقات المحلية، مع التطور السريع لصناعة أشباه الموصلات، وسيزداد الطلب في السوق على هذا النوع من الهياكل الخزفية عالية الجودة. يتمتع كربيد السيليكون، بخصائصه الفيزيائية والكيميائية الممتازة، بآفاق تطبيق واسعة في صناعة أشباه الموصلات.