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Für nanometergroße Bewegungsplattformen werden hochpräzise Siliziumkarbid-Führungsschienen verwendet.
Keramik-Leitfaden

Für nanometergroße Bewegungsplattformen werden hochpräzise Siliziumkarbid-Führungsschienen verwendet.

Anwendungsgebiete von Führungsschienen aus Siliziumkarbid-Keramik sind:

Die Siliziumkarbid-Keramik-Führungsschiene ist eine Kernkomponente von Halbleiterlithografieanlagen und findet Anwendung in: Siliziumkarbid-Keramik-Luftschwebplattformen, Siliziumkarbid-Ultrapräzisions-Bewegungsplattformen, Siliziumkarbid-Führungsschienen, Siliziumkarbid-Gleitschienen, Siliziumkarbid-Vakuumsaugern, Siliziumkarbid-Reflektoren, Siliziumkarbid-Querträgern, Siliziumkarbid-Werkstücktischen usw. Ihre Hauptfunktion besteht darin, den Wafer entlang der vorgegebenen Bewegungsbahn mit hoher Geschwindigkeit und höchster Präzision zu transportieren und die für die Belichtung erforderlichen Schritte auszuführen. Dazu gehören das Be- und Entladen, Ausrichten, Messen des Waferprofils und Belichten. Dabei ist eine Bewegungsgenauigkeit im Nanometerbereich unter Hochgeschwindigkeitsbedingungen erforderlich.

    Anwendungsgebiete von Führungsschienen aus Siliziumkarbid-Keramik sind:

    Die Siliziumkarbid-Keramik-Führungsschiene ist eine Kernkomponente von Halbleiterlithografieanlagen und findet Anwendung in: Siliziumkarbid-Keramik-Luftschwebplattformen, Siliziumkarbid-Ultrapräzisions-Bewegungsplattformen, Siliziumkarbid-Führungsschienen, Siliziumkarbid-Gleitschienen, Siliziumkarbid-Vakuumsaugern, Siliziumkarbid-Reflektoren, Siliziumkarbid-Querträgern, Siliziumkarbid-Werkstücktischen usw. Ihre Hauptfunktion besteht darin, den Wafer entlang der vorgegebenen Bewegungsbahn mit hoher Geschwindigkeit und höchster Präzision zu transportieren und die für die Belichtung erforderlichen Schritte auszuführen. Dazu gehören das Be- und Entladen, Ausrichten, Messen des Waferprofils und Belichten. Dabei ist eine Bewegungsgenauigkeit im Nanometerbereich unter Hochgeschwindigkeitsbedingungen erforderlich.

    Produktmerkmale:

    Produktmerkmale:

    Siliciumcarbidkeramik zeichnet sich nicht nur durch hervorragende mechanische Eigenschaften bei Raumtemperatur aus, wie z. B. hohe Biegefestigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Korrosionsbeständigkeit, hohe Verschleißfestigkeit und niedriger Reibungskoeffizient, sondern auch durch ihre guten mechanischen Eigenschaften bei hohen Temperaturen (Festigkeit, Kriechfestigkeit usw.), sondern ist auch ein bekannter keramischer Werkstoff. Siliciumcarbid besitzt zudem Eigenschaften wie Korrosionsbeständigkeit, Hochtemperaturbeständigkeit, hohe Festigkeit, gute Wärmeleitfähigkeit und Schlagfestigkeit.

     

    1.Hohe Festigkeit

    2.Hochtemperaturbeständig

    3.Hohe Korrosionsbeständigkeit

    4.Hohe Oxidationsbeständigkeit

    5.Gute Temperaturwechselbeständigkeit

    6.Hohe Wärmeleitfähigkeit



    Fountyl-Vorteile

    1. Japanische Technologie, unabhängige Forschung und Entwicklung sowie Produktion von Siliciumcarbid-Keramikwerkstoffen;

    2. Die längste Größe: 1600 mm

    3. Strukturanpassung: Leichtbauweise, gewichtsreduzierte Konstruktion möglich,

    4. Hohe Präzision: Aufgrund unterschiedlicher Strukturen und Größen kann die Genauigkeit stark variieren. Bitte bestätigen Sie die Genauigkeit mit dem Kunden.

    5. Das Material kann gewählt werden: Aluminiumoxid, Siliziumkarbidkeramik