چاک الکترواستاتیک
سه نظام الکترواستاتیک با سازگاری، چگالی بالا، استحکام ساختاری بالا با قابلیت سفارشی سازی
ویژگیها
سازگاری | سفارشیسازی | چگالی بالا | استحکام سازهای بالا | زمان تحویل سریع | مقرونبهصرفه
کاربردها
کاشت طولی | لایه نازک | اچ | توسعه فرآیند | طراحی تجهیزات
طراحی و ساخت
نمونه اولیه ۱۲ اینچی برای تأیید عملکرد واقعی، ارائه خدمات بازسازی و تعمیر و تأیید توسعه و طراحی تحویل داده شد.
با توسعه تجهیزات و فناوری فرآیند نیمههادیها و مدارهای مجتمع، سه نظامهای الکترواستاتیکی سنتی که از مواد پلیمری آلی، اکسیدهای فلزی و مواد سرامیکی به عنوان دیالکتریک استفاده میکنند، با موادی مانند ویفرهای سیلیکونی، یاقوت کبود و کاربید سیلیکون کاملاً سازگار نیستند. بنابراین، سه نظامهای الکترواستاتیکی سازگار با نسل اول، دوم و سوم سه نظامهای ویفر نیمههادی به تدریج توسعه خواهند یافت.
سه نظام/هیتر الکترواستاتیک پلیمری
ماده دیالکتریک پلیمری (پلیمر) در حال حاضر پرکاربردترین ماده چاک الکترواستاتیک است، فرآیند آمادهسازی آن نیز بالغترین ماده دیالکتریک پلیمری است، پس از اصلاح پلیمری، خواص الکتریکی، مکانیکی، مقاومت در برابر دما و مقاومت در برابر هالوژن به میزان قابل توجهی بهبود مییابد. ماده دیالکتریک با سایر عملیات یکپارچه الگوبرداری میشود و سپس با بار سنگین خلاء چند مرحلهای لایهبندی میشود و یک لایه عایق دیالکتریک متراکم بین الکترودهای داخلی تشکیل میشود.
سه نظام الکترواستاتیک پلیمری
از فناوری اصلاح پلیمر برای دستیابی به مقاومت حجمی و ثابت دیالکتریک نسبی بالاتر و نیروی مهار پایدارتر استفاده میشود.
مواد دیالکتریک با چگالی بالا میتوانند خطر ذرات معلق و تحرک یونها را کاهش دهند.
تنوع اشیاء گیرهدار میتواند با گیرهبندی ویفرهایی از مواد مختلف سازگار باشد.
مقاومت عالی در برابر خوردگی در اتمسفرهای هالوژن و پلاسما.
عملکرد با هزینه بالا، دوره پذیرش کوتاه، مناسب برای توسعه فرآیند محصول و تأیید توسعه تجهیزات جدید.
سه نظام الکترواستاتیک پلیمری با گرمکن
این دستگاه میتواند طرحبندی چندین منطقه دمایی گرمایشی (تا 20 منطقه دمایی) را تحقق بخشد و از یکنواختی دمای گرمایش خوبی برخوردار است (±5%℃@150℃).
از فناوری لمینت خلاء برای دستیابی به چگالی بسیار بالا و دمای گرمایش تا 200 درجه سانتیگراد استفاده میشود.
منحنی گرمایش یکنواخت، با طیف وسیعتری از تنظیمات منحنی دما.
عملکرد با هزینه بالا، دوره پذیرش کوتاه، مناسب برای توسعه فرآیند محصول و تأیید توسعه تجهیزات جدید.
سه نظام/گرمکن الکترواستاتیک سرامیکی
فناوری انعقاد سرامیکی یک فرآیند پخت بهبود یافته در توسعه سه نظامها و گرمکنهای الکترواستاتیک سرامیکی آلومینا/نیترید آلومینیوم است. هسته اصلی آن استفاده از انواع پودرهای سرامیکی با قطر نانومتر است که با نسبت مشخصی از طریق یک تجهیزات اختلاط و فرآیند اختلاط منحصر به فرد مخلوط میشوند. سه نظامهای الکترواستاتیک سرامیکی با چگالی بالا، ساختار کریستالی پایدار و توزیع مقاومت یکنواخت با منحنی دمای پخت مشخصی در تجهیزات پخت، پخت شدند. سه نظام استاتیک تولید شده توسط فناوری انعقاد سرامیکی دارای چگالی بالا، ساختار کریستالی پایدار و توزیع مقاومت حجمی یکنواخت است و میتواند عملکرد بستن طبیعی تراشه را در محیط سخت تحت خلاء بالا، پلاسما و هالوژن تحقق بخشد.
سه نظام الکترواستاتیک Al₂O₃
مقاومت حجمی توسط فناوری سرامیک انعقادی و فرآیند پخت همزمان کنترل میشود تا نیروی نگهدارنده طولانیتری حاصل شود.
ساختار داخلی تفجوشی در دمای بالا متراکم و ساختار کریستالی پایدار است و میتوان ظرفیت نگهداری در بازه دمایی بزرگتری را به دست آورد.
قالبگیری یکپارچه با پخت همزمان، مهاجرت یونها را کاهش میدهد.
عملکرد پایدار در اتمسفر خلاء هالوژن پلاسما.
سه نظام الکترواستاتیک AlN
با کنترل ترکیب و نسبت مواد بتن، میتوان مقاومت حجمی را کنترل کرد و ظرفیت نگهداری را در بازه دمایی بزرگتری به دست آورد.
توزیع یکنواخت دما در ناحیه مورد نظر با فناوری پخت و فرآیند پخت همزمان سرامیکهای بتنی تضمین میشود.
قالبگیری یکپارچه با پخت همزمان برای به حداکثر رساندن کیفیت محصول.
عملکرد پایدار در اتمسفر خلاء هالوژن پلاسما.
سه نظام الکترواستاتیک سرامیکی با گرمکن
این دستگاه میتواند طرحبندی چندین منطقه دمایی گرمایشی را تحقق بخشد و از یکنواختی دمای گرمایش خوبی برخوردار است (±7.5%℃@350℃).
از فناوری پخت لمینت در خلاء برای دستیابی به تراکم بسیار بالا و دمای گرمایش تا 550 درجه سانتیگراد استفاده میشود.
قالبگیری یکپارچه با پخت همزمان برای به حداکثر رساندن کیفیت محصول.
عملکرد پایدار در اتمسفر خلاء هالوژن پلاسما.
سه نظام/گرمکن الکترواستاتیک نوع پیچیده
میتواند با سیلیکون، گالیوم آرسنید، کاربید سیلیکون، یاقوت کبود و ویفر سازگار باشد و هزینههای تعویض سیم را برای تولیدکنندگان تجهیزات و کاربران نهایی کاهش دهد. بر اساس فناوری سرامیک بتن و فناوری اصلاح پلیمر، استفاده از لایهبندی خلاء یکپارچه و فناوری اتصال گرم میتواند مقاومت حرارتی داخلی مکنده الکترواستاتیک را کاهش دهد، به یکنواختی دمای داخلی دست یابد و یک لایه عایق دیالکتریک متراکم تشکیل دهد تا عملکرد مقاومت در برابر مهاجرت یون را بهبود بخشد.
سه نظام الکترواستاتیک نوع پیچیده
استفاده از فناوری اصلاح سرامیک و پلیمر بتن، ساختار متراکمتر و انتشار گاز کمتری دارد.
کنترل دقیقتر ضخامت لایه دیالکتریک و مجموعه الکترودها.
تنوع اشیاء گیرهدار میتواند با گیرهبندی ویفرهای مختلف سازگار باشد.
مقاومت ویژه بدن را میتوان به طور دقیق کنترل کرد تا ظرفیت نگهداری الکترواستاتیک قویتری به دست آید.
عملکرد با هزینه بالا، دوره پذیرش کوتاه، مناسب برای توسعه فرآیند محصول و تأیید توسعه تجهیزات جدید.
سه نظام الکترواستاتیک نوع پیچیده با گرمکن
این دستگاه میتواند طرحبندی چندین منطقه دمایی گرمایشی را تحقق بخشد و از یکنواختی دمای گرمایش خوبی برخوردار است (±۳.۵٪℃@۱۵۰℃).
از فناوری لمینت خلاء برای دستیابی به چگالی بسیار بالا و دمای گرمایش تا 200 درجه سانتیگراد استفاده میشود.
منحنی گرمایش یکنواخت، با طیف وسیعتری از تنظیمات منحنی دما.
عملکرد با هزینه بالا، دوره پذیرش کوتاه، مناسب برای توسعه فرآیند محصول و تأیید توسعه تجهیزات جدید.