سه نظام سرامیکی متخلخل
سه نظام سرامیکی متخلخل
ویژگی‌های سه نظام سرامیکی متخلخل
نفوذپذیری قوی: نفوذپذیری یکنواخت هوا و آب، برای اطمینان از نیروی یکنواخت و جذب محکم ویفر سیلیکون در فرآیند سنگ زنی بدون لغزش.
ساختار متراکم و یکنواخت: استفاده از مواد سرامیکی میکرو متخلخل با ساختار متراکم و یکنواخت، که به راحتی گرد و غبار سیلیکون را جذب نمی‌کند و تمیز کردن سه نظام آسان است.
استحکام بالا: بدون تغییر شکل در حین سنگ زنی، برای اطمینان از اینکه ویفر سیلیکونی در هر نقطه هنگام سنگ زنی به طور مساوی تحت فشار قرار می گیرد و پدیده های فروپاشی لبه، آوار به راحتی رخ نمی دهد.
عمر طولانی: حفظ شکل سطح خوب است، چرخه پانسمان طولانی است و مقدار پانسمان کم است، بنابراین عمر بالایی دارد.
پانسمان آسان: هنگام پانسمان هیچ پدیده ترک خوردگی، تکه تکه شدن، کوبیدن وجود نخواهد داشت.
سبک وزن: به دلیل ساختار داخلی منافذ، ضریب وزن مخصوص ۱.۶-۲.۸ است.
عایق بالا: مواد عایق، الکتریسیته ساکن را از بین می‌برد.
کنترل دقت
| دسته | جنس پایه | مواد سطح جذب | اندازه | صافی | عمق موازی بودن |
| سه نظام سرامیکی متخلخل | آلیاژ آلومینیوم | متخلخل SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| فولاد ضد زنگ | ≤10μm | ≤15μm | |||
| آلومینا | ≤5μm | ≤8μm | |||
| کاربید سیلیکون | ≤3μm | ≤8μm | |||
| سه نظام سرامیکی متخلخل دارای طیف کاملی از مشخصات و اندازه‌ها است که می‌تواند در خط ۳ اینچی، خط ۴ اینچی، خط ۵ اینچی، خط ۶ اینچی، خط ۸ اینچی و خط ۱۲ اینچی مورد استفاده قرار گیرد و با توجه به مشخصات و اندازه‌های مورد نیاز شما قابل تنظیم است. | |||||
| حداکثر اندازه کیس فعلی: 1600 * 1600 متر، ضخامت 50 میلی‌متر است؛ | |||||
ویژگی‌های مواد سرامیکی متخلخل:
مواد تشکیل دهنده اصلی: آلومینا رنگ: مشکی، خاکستری آهنی
میزان آلومینا: ۹۲٪ میزان رطوبت: ۰٪
دیافراگم: 2 تا 30 میکرومتر، تخلخل: 35 تا 40 درصد
مقاومت خمشی: 6 کیلوگرم بر سانتی‌متر مربع (مگاپاسکال) نسبت حجمی: 2.28 گرم بر سانتی‌متر مکعب
نوع سه نظام متخلخل کاربید سیلیکون
با توجه به کاربرد، چاک‌ها به موارد زیر تقسیم می‌شوند:
دستگاه نازک کننده مجهز به: سه نظام نازک کننده، ویفر سیلیکونی، زیرلایه یاقوت کبود و سایر نازک کننده ها؛
اره برش مجهز به: سه نظام برش، ویفر سیلیکونی، ویفر مرکب نیمه هادی و سایر ابزارهای برش است.
دستگاه تمیزکننده مجهز به: سه نظام تمیزکننده؛
دستگاه حذف فیلم مجهز به: سه نظام حذف فیلم؛
دستگاه لمینت مجهز به: سه نظام لمینت؛
دستگاه چاپ مجهز به: سه نظام چاپ.
تضمین کیفیت
فونتیل سال‌ها تجربه فنی در زمینه مهندسی سرامیک‌های دقیق و فوق دقیق، پردازش و تولید، انواع ابزارهای آنالیز فیزیکی و شیمیایی و ابزارهای اندازه‌گیری هندسی دارد تا پایداری تولید و ثبات محصول برای چاک سرامیکی متخلخل را تضمین کند.
کاربرد محصول
چاک سرامیکی متخلخل قطعه‌ای است که در مرحله تولید نیمه‌هادی‌ها استفاده می‌شود و روی دستگاه برش یا دستگاه بازرسی مونتاژ می‌شود. این محصولی است که می‌تواند از ساختار متخلخل و فشار منفی سطح میز کار برای صاف نگه داشتن ویفر سیلیکونی نازک استفاده کند. دستگاه برش، ویفر سیلیکونی را با عرض حدود 20 میکرومتر برش می‌دهد، بنابراین نیاز به صافی و موازی بودن سطح جذب ویفر بسیار زیاد است. با توجه به ویژگی‌های مربوطه، ساختارهای منافذ مختلف دارای محدوده‌های کاربردی متفاوتی هستند، مانند سرامیک‌های میکرومتخلخل با مساحت سطح ویژه بزرگ و اندازه منافذ کوچک که معمولاً در زمینه‌های فیلتراسیون باکتری‌ها و تثبیت میکروبی استفاده می‌شوند. سرامیک‌های مزومتخلخل با توزیع قطر خاص خود اغلب در زمینه‌های جداسازی و کاتالیز جذب استفاده می‌شوند. سرامیک‌های ماکرومتخلخل معمولاً برای فیلتراسیون خشن مواد با محتوای زیاد و اندازه بزرگ مناسب هستند.