محصول اصلی
تیرک مربعی و ریل راهنما برای پلتفرم حرکت فوق دقیق و تجهیزات تشخیص
به عنوان مثال، با در نظر گرفتن مونتاژ چاک خلاء، مادهای که در اولین دوران ویفرهای ۲ اینچی و ۴ اینچی استفاده میشد، آلومینیوم هوانوردی است، اما در دوران ویفرهای با اندازه بزرگ (۸ اینچ و بیشتر از ۸ اینچ) با تنگنای تخت بودن فوقالعاده بالا (بهتر از ۱ میکرون) مواجه شده است، که نمیتواند شاخص سختی تخت بودن فوقالعاده بالا را برآورده کند و حذف میشود. در مرحله بعد، ماده آلومینا به عنوان یک واسطه، مدول الاستیک، وزن سبک، رسانایی حرارتی و ضریب انبساط آن و کاربید سیلیکون کوتوله، اما نه به میزان شرمآوری؛ پس از دستیابی به موفقیت در فناوری آمادهسازی سرامیکهای کاربید سیلیکون توخالی با اندازه بزرگ و پیچیده با شکل خاص، اجزایی از جمله پایه قطعه کار فوقالعاده دقیق، راهنمای شناور هوای فوقالعاده دقیق و بازوی انتقال ویفر ارتقا یافتهاند.
نه تنها قطعات سرامیکی کاربید سیلیکون فوق الذکر که شاخصهای سختی بسیار دقیقی را در مورد صافی، موازی بودن و عمودی بودن برآورده میکنند، بلکه برای قطعات سرامیکی کاربید سیلیکون با خلوص بالا که برای فرآیندهای انتشار ویفر، دوپینگ و اچینگ در صنعت نیمههادی، به ویژه در فناوری آمادهسازی مواد CVDSiC با خلوص بالا مورد نیاز هستند، دارای فناوری فرآیند بالغی هستند و تولید قایق کریستالی سرامیکی کاربید سیلیکون با خلوص بالا، صفحه یاتاقان سرامیکی کاربید سیلیکون، سکوی حرکت شناور هوای سرامیکی کاربید سیلیکون، سکوی حرکت فوق دقیق کاربید سیلیکون، ریل راهنمای کاربید سیلیکون، اجزای ریل کشویی کاربید سیلیکون را محقق کردهاند.
در آینده، ما کاربرد مواد کاربید سیلیکون را در صنعت نیمههادی بیشتر گسترش خواهیم داد و به ارتقاء زنجیره صنعت نیمههادی و صنعت سرامیک کاربید سیلیکون کمک خواهیم کرد. تحقیقات مستقل و ترویج کاربرد داخلی قطعات سرامیکی کاربید سیلیکون دقیق چین به تازگی آغاز شده است و با توسعه شدید صنعت نیمههادی، تقاضای بازار برای این نوع ساختار سرامیکی سطح بالا بیشتر و بیشتر خواهد شد. کاربید سیلیکون با خواص فیزیکی و شیمیایی عالی خود، در صنعت نیمههادی چشمانداز کاربرد گستردهای دارد.
سرامیکهای سیلیکون کاربید نه تنها در دمای اتاق خواص مکانیکی عالی مانند استحکام خمشی بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون عالی، مقاومت در برابر خوردگی خوب، مقاومت در برابر سایش بالا و ضریب اصطکاک پایین دارند، بلکه خواص مکانیکی دمای بالا (استحکام، مقاومت در برابر خزش و غیره) آنها را به بهترین مواد سرامیکی تبدیل کرده است. سیلیکون کاربید دارای ویژگیهای مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر دمای بالا، استحکام بالا، رسانایی حرارتی خوب، مقاومت در برابر ضربه و غیره است.
الزامات دستگاه لیتوگرافی برای ساختار میز قطعه کار: فوق سبک (کاهش اینرسی حرکتی، کاهش بار موتور)، پایداری فوق العاده بالا (ماشینکاری فوق دقیق نیاز به حرکت و موقعیت یابی با دقت بالا دارد و به حداقل تغییر شکل ابعادی انبساط حرارتی و سایر عوامل نیاز دارد)، تمیزی (سختی بالا و مقاومت در برابر سایش بالا)، میتواند الزامات فنی قطعات ساختاری کاربید سیلیکون با اندازه بزرگ، دیواره نازک توخالی، ساختار پیچیده و دقیق را برای تجهیزات کلیدی تولید مدار مجتمع که توسط دستگاه فوتولیتوگرافی ارائه میشود، برآورده کند.
قابلیتهای فونتیل
حداکثر اندازه:۱۶۰۰ میلیمتر
سفارشی سازی ساختار:ساختار سبک وزن، میتواند برای کاهش وزن سازه طراحی شود.
دقت بالا:صافی را میتوان با دقت ۵ میکرون یا حتی بالاتر کنترل کرد.