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Des rails de guidage en carbure de silicium de haute précision sont utilisés pour les plateformes de mouvement à l'échelle nanométrique.
Guide de la céramique

Des rails de guidage en carbure de silicium de haute précision sont utilisés pour les plateformes de mouvement à l'échelle nanométrique.

Les applications des rails de guidage en céramique de carbure de silicium sont les suivantes :

Le rail de guidage en céramique de carbure de silicium est un composant essentiel des machines de lithographie pour semi-conducteurs. Il est utilisé dans de nombreux dispositifs, notamment les plateformes de déplacement à coussin d'air, les plateformes mobiles ultra-précises, les rails de guidage, les rails de glissement, les ventouses, les réflecteurs, les traverses et les tables porte-pièces. Sa fonction principale est d'assurer le déplacement ultra-précis et à grande vitesse de la plaquette le long d'une trajectoire prédéfinie, tout en réalisant les opérations d'exposition nécessaires : chargement et déchargement, alignement, mesure du profil et exposition. Une précision de déplacement nanométrique est indispensable, même à grande vitesse.

    Les applications des rails de guidage en céramique de carbure de silicium sont les suivantes :

    Le rail de guidage en céramique de carbure de silicium est un composant essentiel des machines de lithographie pour semi-conducteurs. Il est utilisé dans de nombreux dispositifs, notamment les plateformes de déplacement à coussin d'air, les plateformes mobiles ultra-précises, les rails de guidage, les rails de glissement, les ventouses, les réflecteurs, les traverses et les tables porte-pièces. Sa fonction principale est d'assurer le déplacement ultra-précis et à grande vitesse de la plaquette le long d'une trajectoire prédéfinie, tout en réalisant les opérations d'exposition nécessaires : chargement et déchargement, alignement, mesure du profil et exposition. Une précision de déplacement nanométrique est indispensable, même à grande vitesse.

    Caractéristiques du produit :

    Caractéristiques du produit :

    Les céramiques en carbure de silicium présentent d'excellentes propriétés mécaniques à température ambiante (résistance à la flexion élevée, excellente résistance à l'oxydation, bonne résistance à la corrosion, haute résistance à l'usure et faible coefficient de frottement) et à haute température (résistance, résistance au fluage, etc.). Le carbure de silicium se caractérise par sa résistance à la corrosion, sa résistance aux hautes températures, sa haute résistance mécanique, sa bonne conductivité thermique et sa résistance aux chocs.

     

    1.Haute force

    2.résistant aux hautes températures

    3.Forte résistance à la corrosion

    4.Haute résistance à l'oxydation

    5.Bonne résistance aux chocs thermiques

    6.conductivité thermique élevée



    avantages de Fountyl

    1. Technologie japonaise, recherche et développement indépendants et production de matériaux céramiques en carbure de silicium ;

    2. La plus grande longueur : 1600 mm

    3. Personnalisation de la structure : structure légère, perte de poids possible, structure de conception,

    4. Haute précision : haute précision, selon la structure et la taille, veuillez confirmer la précision avec le client.

    5. Matériau au choix : oxyde d’aluminium, céramique de carbure de silicium