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Procédé technologique FAB
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Procédé technologique FAB

2024-06-21

Le procédé FAB, ou procédé de fabrication de semi-conducteurs, est un ensemble complexe d'étapes transformant des matériaux semi-conducteurs, comme le silicium, en puces de circuits intégrés (CI). Ce procédé de fabrication très sophistiqué est la pierre angulaire de l'industrie électronique moderne ; il permet de produire des microprocesseurs et des puces mémoire utilisés dans les téléphones portables, les ordinateurs, les voitures et divers appareils intelligents. Dans l'industrie des semi-conducteurs, une usine de fabrication est un site de production de circuits intégrés.

 
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Le processus FAB comprend une série d'étapes, de la fabrication de la plaquette aux tests finaux, chacune ayant un impact décisif sur les performances et le rendement de la puce. Voici une explication détaillée de ce processus complexe :

  1. Fabrication de plaquettes

La première étape de la fabrication d'un circuit intégré consiste à produire des plaquettes de silicium. Le silicium polycristallin est purifié en silicium monocristallin par réduction, puis transformé en colonnes de silicium monocristallin de grand diamètre par la méthode de croissance par élévation (comme la méthode Czochralski ou CZ). Ces colonnes sont ensuite découpées en fines feuilles et polies pour former des plaquettes lisses qui serviront de base aux étapes suivantes.

 

  1. Oxydation

Dans un environnement propre, la surface de la plaquette est oxydée pour former une couche de film de silice isolant, qui constitue la base de la production de la couche isolante et du processus de masque ultérieur.

 

  1. Lithographie

La lithographie est un procédé de transfert de motifs de circuits imprimés sur la surface d'une plaquette. Cette étape comprend une série d'opérations telles que le dépôt de résine photosensible, le séchage, l'exposition (par masquage), le développement, le durcissement, etc., afin de contrôler précisément le transfert du motif.

 

  1. Gravure humide et sèche

La gravure est un procédé qui consiste à enlever de la matière d'une zone sélectionnée pour former un circuit imprimé. La gravure chimique utilise des solutions chimiques, tandis que la gravure sèche (comme la gravure ionique réactive) utilise des techniques de gravure plasma, offrant une plus grande précision et une meilleure fidélité du motif.

 

  1. Implantation ionique

L'implantation ionique est utilisée pour doper les plaquettes en projetant des ions de dopants (tels que le bore ou l'arsenic) dans les plaquettes à grande vitesse pour modifier leurs propriétés électriques et former du silicium de type N ou de type P.

 

  1. Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et dépôt physique en phase vapeur (PVD)

Les technologies CVD et PVD permettent de déposer des couches isolantes, conductrices et métalliques sur la surface de la plaquette. Ces films servent à constituer les différents composants et interconnexions des transistors.

 

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7. Broyage chimico-mécanique (CMP)

Le CMP est un procédé d'aplanissement de la surface de la plaquette afin de garantir la précision et la régularité de la construction laminée ultérieure.

 

8. Processus hiérarchique

Le processus, de la photolithographie au polissage chimico-mécanique (CMP), est répété pour construire une structure de circuit multicouche complexe. Chaque couche doit être alignée avec précision afin d'assurer une connexion correcte.

 

9. Interconnexion micrométallique

L'utilisation de la technologie de galvanoplastie ou CVD pour former un fil métallique fin permettant de connecter les transistors et autres composants afin de réaliser la fonction du circuit.

 

10. Inspection lumineuse sortante (AOI)

Des équipements d'inspection optique automatisés sont utilisés pour détecter les erreurs et les défauts dans les motifs, garantissant ainsi que chaque étape du processus est réalisée conformément aux normes de conception.

 

11. Emballage

La plaquette finie est découpée en une seule puce, et la puce est installée dans le boîtier et connectée à l'interface externe par collage de fils conducteurs, soudage ou autres méthodes.

 

12. Test et tri

Les performances électriques de chaque puce encapsulée sont testées, et la puce est classée et triée en fonction des résultats des tests.

 

Le procédé de fabrication additive (FAB) est un défi technique de haute technologie, de haute précision et complexe, nécessitant des connaissances pointues en physique, chimie et science des matériaux. Avec les progrès technologiques, les procédés FAB évoluent vers une miniaturisation accrue, une intégration plus poussée et une consommation énergétique réduite afin de répondre aux exigences des produits électroniques miniaturisés et performants de l'ère du numérique. L'amélioration continue de chaque étape du procédé témoigne de l'innovation et du développement constants de l'industrie de la fabrication de circuits intégrés et constitue un pilier fondamental de la civilisation industrielle moderne.

 

Fountyl Technologies PTE Ltd se concentre sur l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Ses principaux produits comprennent : mandrins à broches, mandrins à rainure annulaire, mandrins en céramique poreuse, effecteurs terminaux en céramique, poutres et guides en céramique, pièces structurelles en céramique. N'hésitez pas à nous contacter pour toute négociation !