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Rectifieuse de miroirs maîtres pour semi-conducteurs d'appareils CMP
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Rectifieuse de miroirs maîtres pour semi-conducteurs d'appareils CMP

10 mai 2024

La technologie CMP (polissage chimico-mécanique) est essentielle pour obtenir des surfaces de plaquettes uniformes et planes dans la fabrication de semi-conducteurs. Elle élimine l'excès de matière de la surface de la plaquette grâce à l'action combinée de la corrosion chimique et du meulage mécanique, permettant ainsi d'atteindre une planéité globale à l'échelle nanométrique. Le procédé CMP comprend trois étapes principales : le polissage, le nettoyage et le transfert. Lors du polissage, la composition chimique du liquide de polissage réagit avec le matériau de surface de la plaquette pour former un film qui peut être éliminé mécaniquement. Le tampon de polissage élimine ensuite ce film pour obtenir une surface lisse. Les appareils CMP sont disponibles en versions 8 pouces, 12 pouces et 6/8 pouces, selon les besoins de l'application.


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Marchés et grandes entreprises

Le marché des équipements de polissage chimico-mécanique (CMP) se compose principalement de trois segments : les équipements CMP pour la fabrication de plaquettes de silicium, les équipements CMP pour les fonderies de plaquettes et les équipements CMP pour la fabrication de substrats en carbure de silicium. Avec la miniaturisation continue des procédés de fabrication de circuits intégrés, la demande en procédés CMP augmente progressivement, notamment dans la fabrication de puces logiques, où le nombre d'étapes de polissage chimico-mécanique des nœuds technologiques avancés croît significativement. Le marché du CMP poursuit sa croissance. En particulier, la croissance des nouvelles capacités de production en Chine continentale devrait dépasser celle du marché chinois.


Le marché mondial des équipements de polissage chimico-mécanique (CMP) est fortement dominé par Applied Materials, leader du marché, qui propose des solutions CMP avancées et des produits couvrant un large éventail d'applications, des procédés classiques aux procédés de pointe. Ebara (Japon) détient un brevet pour sa technologie de séchage par évaporation et ses produits sont reconnus pour leur grande fiabilité et leur efficacité de production. Ensemble, ces deux entreprises représentent plus de 90 % du marché.


Dans le domaine des procédés matures, les entreprises chinoises ont brisé le monopole des géants étrangers et conquis une part de marché significative. Parmi les principaux fabricants chinois d'équipements de polissage chimico-mécanique (CMP), on trouve Huahai Qingke, qui a industrialisé le procédé 28 nm et dont la technologie 14 nm est en cours de validation. Huahai Qingke est le seul fabricant en Chine à proposer des équipements CMP de 12 pouces. Sco Precision fournit des équipements CMP répondant à tous les besoins complexes de planage dans la fabrication de circuits intégrés, prenant en charge la production de circuits intégrés avec des nœuds de gravure de 0,09 à 0,35 µm. Jingyi Precision, fournisseur d'équipements CMP de 8 pouces, a lancé la première ligne de production CMP de 8 pouces en Chine, bénéficiant de droits de propriété intellectuelle indépendants. Hangzhou ZhongSI a développé avec succès des dispositifs CMP de 6, 8 et 12 pouces pour les circuits intégrés, les grandes plaquettes de silicium et les semi-conducteurs de troisième génération.


AVIS:

La mise à niveau du processus de fabrication des puces, l'utilisation des équipements CMP (polissage chimico-mécanique) sera plus fréquente, et le marché, notamment le marché intérieur, est en pleine expansion.

2. La technologie des équipements nationaux continue de s'améliorer et leur maturité s'accroît.

3. Comme nous le savons tous, plusieurs entreprises nationales y parviennent, le marché a commencé à se développer et l'avenir des entreprises technologiques de pointe ou des entreprises qui ouvrent de nouveaux domaines d'application est plus prometteur.


Fountyl Technologies PTE Ltd se concentre sur l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Ses principaux produits comprennent : mandrins à broches, mandrins en céramique poreuse, effecteurs en céramique, poutres carrées en céramique, broches en céramique. N'hésitez pas à nous contacter pour toute négociation !