एयर फ्लोटिंग टेबल
अर्धचालक उद्योग के लिए गैर-संपर्क मोड की लोड स्थानांतरण प्रौद्योगिकी के साथ छिद्रपूर्ण वायु फ़्लोटिंग प्लेटफ़ॉर्म
पारंपरिक एयर फ्लोटिंग प्लेटफॉर्म आम तौर पर छोटे छेद थ्रॉटलिंग, टोरस थ्रॉटलिंग या स्लिट थ्रॉटलिंग तकनीक को अपनाता है, जो सरल प्रसंस्करण तकनीक की विशेषता है, लेकिन जब आपूर्ति वायु दबाव बदलता है, तो सीटी की घटना उत्पन्न करना आसान होता है, ध्वनि तेज होती है, और असर क्षमता में भी उतार-चढ़ाव होता है, जो शांत और स्थिर दबाव वाले कार्य वातावरण के लिए उपयुक्त नहीं है।
पारंपरिक टीएफटी-एलसीडी ग्लास सबस्ट्रेट्स रोबोट आर्म्स (रोबोट) और एजीवी (स्वचालित निर्देशित वाहन) सिस्टम द्वारा किए जाते हैं। उत्पादन प्रक्रिया में ग्लास सब्सट्रेट। यह लोड शिफ्टिंग प्लेटफॉर्म (या रोलर) के साथ संपर्क ऑपरेशन है। जब ग्लास सब्सट्रेट लोड शिफ्टिंग प्लेटफॉर्म या रोलर के संपर्क में होता है, तो छूने और घर्षण से ग्लास सब्सट्रेट की सतह पर गायब कोनों, क्रैकिंग, क्षति, संदूषण और स्थैतिक बिजली की ये क्षति या दोष समस्याएं होती हैं, और फिर उत्पादन उपज और उत्पाद की गुणवत्ता को प्रभावित करती हैं, रोलर रोटेशन ट्रांसफर लोड के उपयोग के अलावा, अभी भी तकनीकी समस्याओं को दूर करना है। इन समस्याओं का बड़े आकार के ग्लास सबस्ट्रेट्स की उत्पादन क्षमता पर गहरा प्रभाव पड़ता है और इन्हें तुरंत सुधारने की जरूरत है। एयर फ्लोटिंग सिस्टम के लाभ:
1. शून्य घर्षण.
2. शून्य घिसाव.
3. सीधी गति, घूर्णन गति लागू हैं।
4. शांत एवं सुचारू संचालन।
5. उच्च अवमंदन.
6. तेल हटाएँ.
एयर फ्लोटिंग प्लेटफ़ॉर्म की संरचना वैक्यूम चैंबर बनाने के लिए बेस में एम्बेडेड नैनो-पोरस सिरेमिक से बनी है। पानी रहित और तेल रहित स्वच्छ संपीड़ित हवा को गैस पाइप के माध्यम से असर सतह और एयर फ्लोटिंग गाइड रेल के बीच एयर मोड गैप में इनपुट किया जाता है। गैस एयर मोड गैप में बहती है ताकि असर सतह एयर फ्लोटिंग गाइड रेल पर तैर सके। गैस घर्षण के बिना वस्तुओं को स्थानांतरित करने या परिवहन करने के लिए स्नेहक के रूप में कार्य करती है।
सामान्य वायु फ़्लोटिंग छेद का निर्माण:
क) छिद्र थ्रॉटलिंग संरचना
ख) छिद्रयुक्त संरचना
सबसे बड़ा अनुकूलित आकार: लंबाई 1600 मिमी, चौड़ाई 1000 मिमी
गैर-संपर्क संप्रेषण और लोड शिफ्टिंग उपकरण मुख्य रूप से ग्लास सब्सट्रेट के बड़े होने के बाद पारंपरिक हैंडलिंग तकनीक के कारण होने वाली समस्याओं को सुधारने के लिए है, क्योंकि संप्रेषण और लोड शिफ्टिंग प्रक्रिया सीधे ऑपरेशन ऑब्जेक्ट के संपर्क में नहीं होती है, इसलिए यह प्रदूषक लगाव, तनाव, स्थैतिक बिजली और ग्लास सब्सट्रेट को नुकसान की घटना से बच सकती है। दूसरी ओर, झरझरा सामग्री, गैस के प्रवाह को काफी कम कर देती है, एक समान वायु दबाव और वायु कुशन का अच्छा वितरण प्राप्त करती है, और संचालन के लिए आवश्यक पर्याप्त फ़्लोटिंग ऊंचाई प्रदान करती है।