सिलिकन कार्बाइड
सिलिकॉन कार्बाइड का उपयोग संक्षारण प्रतिरोधी भागों, सील भागों, उच्च तापमान प्रतिरोधी भागों, गाइड रेल और वर्ग बीम के लिए किया जाता है
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में सामान्य तापमान पर उत्कृष्ट यांत्रिक गुण होते हैं, जैसे उच्च शक्ति, उच्च कठोरता, उच्च लोचदार मापांक, उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता, जैसे उच्च तापीय चालकता, कम तापीय विस्तार गुणांक, और अच्छी विशिष्ट कठोरता और ऑप्टिकल प्रसंस्करण गुण, विशेष रूप से फोटोलिथोग्राफी मशीन और अन्य एकीकृत सर्किट उपकरणों की तैयारी के लिए उपयुक्त है। सटीक सिरेमिक संरचनात्मक भागों के लिए। जैसे कि फोटोलिथोग्राफी मशीन में इस्तेमाल होने वाले सटीक मूविंग वर्कपीस टेबल, कंकाल, सक्शन कप, वाटर-कूल्ड प्लेट और सटीक माप दर्पण, झंझरी और अन्य सिरेमिक संरचनात्मक भागों, तकनीकी अनुसंधान के वर्षों के बाद फाउंटिल की नई सामग्री, सिलिकॉन कार्बाइड संरचनात्मक भागों की सटीक प्रसंस्करण और तैयारी की समस्याओं के बड़े आकार, पतली दीवार, खोखले और अन्य जटिल संरचना को हल करती है, इस तरह की सटीक सिलिकॉन कार्बाइड संरचनात्मक भागों की तैयारी तकनीक की तकनीकी अड़चन को तोड़ती है। इसने एकीकृत सर्किट निर्माण उपकरणों में उपयोग किए जाने वाले प्रमुख संरचनात्मक भागों के स्थानीयकरण को बहुत बढ़ावा दिया है।
● सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में मुख्य रूप से दबाव रहित सिंटरिंग सिलिकॉन कार्बाइड (एसएसआईसी), प्रतिक्रिया-सिंटर सिलिकॉन कार्बाइड (आरबीएससी), रासायनिक वाष्प जमाव सिलिकॉन कार्बाइड (सीवीडी-एसआईसी) शामिल हैं।
● सिलिकॉन कार्बाइड में कई उत्कृष्ट गुण हैं: सुपर हार्ड, पहनने के प्रतिरोध, उच्च तापीय चालकता और यांत्रिक शक्ति, कम तापीय विस्तार गुणांक, उत्कृष्ट तापीय स्थिरता, कम घनत्व, उच्च विशिष्ट कठोरता, गैर-चुंबकीय।
● वर्तमान में, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक को विभिन्न उद्योगों जैसे विमानन, एयरोस्पेस और परमाणु उद्योग में लागू किया जाता है, जैसे कि सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक परावर्तक और आईसी एकीकृत सर्किट विनिर्माण, हीट एक्सचेंजर्स और चरम स्थितियों के तहत बुलेटप्रूफ सामग्री के लिए उच्च अंत उपकरणों के सिरेमिक भागों।
एकीकृत सर्किट विनिर्माण उपकरण के लिए सटीक सिरेमिक संरचनात्मक भागों की विशेषताएं:
① अत्यधिक हल्के: गति जड़ता को कम करने, मोटर लोड को कम करने, गति दक्षता में सुधार, स्थिति सटीकता और स्थिरता, संरचनात्मक भागों आम तौर पर हल्के संरचना डिजाइन का उपयोग करते हैं, हल्के वजन की दर 60-80% है, 90% तक;
② उच्च रूप-स्थिति सटीकता: उच्च परिशुद्धता गति और स्थिति को प्राप्त करने के लिए, संरचनात्मक भागों में अत्यंत उच्च रूप और स्थिति सटीकता की आवश्यकता होती है, समतलता, समानांतरता और लंबवतता 1μm से कम होनी चाहिए, और रूप और स्थिति सटीकता 5μm से कम होनी चाहिए।
③ उच्च आयामी स्थिरता: उच्च परिशुद्धता आंदोलन और स्थिति को प्राप्त करने के लिए, संरचनात्मक भागों में अत्यधिक उच्च आयामी स्थिरता की आवश्यकता होती है, तनाव पैदा नहीं करना चाहिए, और उच्च तापीय चालकता, कम तापीय विस्तार गुणांक, बड़े आयामी विरूपण का उत्पादन करना आसान नहीं है;
④ स्वच्छ और प्रदूषण मुक्त। संरचनात्मक भागों में अत्यंत कम घर्षण गुणांक, गति के दौरान छोटी गतिज ऊर्जा हानि और कोई पीसने वाला कण प्रदूषण नहीं होना आवश्यक है। सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री में बहुत उच्च लोचदार मापांक, तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार गुणांक होता है, झुकने वाले तनाव विरूपण और तापीय तनाव का उत्पादन करना आसान नहीं होता है, और इसमें उत्कृष्ट पॉलिशबिलिटी होती है, इसे उत्कृष्ट दर्पण के लिए मशीन किया जा सकता है; इसलिए, फोटोलिथोग्राफी मशीन जैसे एकीकृत सर्किट के प्रमुख उपकरणों के लिए सटीक संरचनात्मक सामग्री के रूप में सिलिकॉन कार्बाइड का उपयोग करने के बहुत फायदे हैं, सिलिकॉन कार्बाइड में अच्छी रासायनिक स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार गुणांक के फायदे हैं, और इसे उच्च तापमान, उच्च दबाव, जंग और चरम वातावरण के विकिरण में लागू किया जा सकता है।
सिलिकॉन कार्बाइड में अच्छे रासायनिक स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार गुणांक के फायदे हैं, और इसे उच्च तापमान, उच्च दबाव, संक्षारण और चरम वातावरण के विकिरण में लागू किया जा सकता है।
एकीकृत सर्किट के प्रमुख उपकरणों के लिए आवश्यक है कि घटक सामग्री में हल्के वजन, उच्च शक्ति, उच्च तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार गुणांक की विशेषताएं हों, और दोष रहित सघन और एक समान हों। उपकरणों की अति-सटीक गति और नियंत्रण सुनिश्चित करने के लिए घटकों में अत्यंत उच्च आयामी सटीकता और आयामी स्थिरता होनी आवश्यक है। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में उच्च लोचदार मापांक और विशिष्ट कठोरता होती है, विकृत करना आसान नहीं होता है, और इसमें उच्च तापीय चालकता और कम तापीय विस्तार गुणांक, उच्च तापीय स्थिरता होती है, इसलिए सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एक उत्कृष्ट संरचनात्मक सामग्री है, वर्तमान में एकीकृत सर्किट निर्माण में प्रमुख उपकरणों के अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला प्राप्त करने के लिए, जैसे कि सिलिकॉन कार्बाइड वर्किंग टेबल, गाइड रेल, रिफ्लेक्टर, सिरेमिक चक और सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर के साथ लिथोग्राफी मशीन।
फाउंटाइल बड़े आकार, खोखले पतली दीवार, जटिल संरचना, सटीक सिलिकॉन कार्बाइड संरचनात्मक भागों की तैयारी प्रौद्योगिकी के साथ एकीकृत सर्किट विनिर्माण प्रमुख उपकरणों के प्रतिनिधि के रूप में फोटोलिथोग्राफी मशीन को पूरा कर सकता है, जैसे: सिलिकॉन कार्बाइड वैक्यूम चक, गाइड रेल, परावर्तक, कार्य तालिका और फोटोलिथोग्राफी मशीन के लिए सटीक सिलिकॉन कार्बाइड संरचनात्मक भागों की एक श्रृंखला।
| गुण | फाउंटाइल | ||
| घनत्व (जी/सेमी3) | 2.98-3.02 | ||
| यंग मापांक (GPa) | 368 | ||
| फ्लेक्सुरल ताकत (एमपीए) | 334 | ||
| वेइबुल | 8.35 | ||
| सीटीई（×10-6/℃） | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| तापीय चालकता(W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| पिज़ोन अनुपात | 0.187 | ||
| कतरनी मापांक (GPa) | 155 | ||