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अल्ट्रा-प्रिसिज़न मोशन प्लेटफ़ॉर्म और डिटेक्शन उपकरण के लिए स्क्वायर बीम और गाइड रेल
वैक्यूम चक असेंबली को एक उदाहरण के रूप में लेते हुए, शुरुआती 2 इंच और 4 इंच वेफर युग में इस्तेमाल की जाने वाली सामग्री विमानन एल्यूमीनियम है, लेकिन बड़े आकार के वेफर्स (8 "और 8 से अधिक") के युग में इसे अल्ट्रा-हाई फ्लैटनेस (1 माइक्रोन से बेहतर) की अड़चन का सामना करना पड़ा है, जो अल्ट्रा-हाई फ्लैटनेस के हार्ड इंडेक्स को पूरा नहीं कर सकता है और समाप्त हो गया है। इसके बाद, एक संक्रमण के रूप में एल्यूमिना सामग्री, इसके लोचदार मापांक, हल्के वजन, तापीय चालकता और विस्तार गुणांक और सिलिकॉन कार्बाइड बौने हैं, लेकिन कुछ शर्मनाक नहीं हैं; बड़े आकार और जटिल विशेष आकार के खोखले संरचना सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक की तैयारी तकनीक में सफलता के बाद, अल्ट्रा-प्रेसिजन वर्कपीस बेस, अल्ट्रा-प्रेसिजन एयर फ्लोट गाइड और वेफर ट्रांसमिशन आर्म सहित घटकों को अपग्रेड किया गया है।
न केवल उपर्युक्त सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक भाग, जो समतलता, समानता और ऊर्ध्वाधरता पर अल्ट्रा-उच्च परिशुद्धता वाले कठोर संकेतकों को पूरा करते हैं, अर्धचालक उद्योग में वेफर प्रसार, डोपिंग, नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक भागों के लिए, विशेष रूप से उच्च शुद्धता वाले CVDSiC सामग्री तैयारी प्रौद्योगिकी में, एक परिपक्व प्रक्रिया प्रौद्योगिकी है, और उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक क्रिस्टल बोट, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक असर प्लेट, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एयर फ़्लोटिंग आंदोलन मंच, सिलिकॉन कार्बाइड अल्ट्रा-सटीक चलती मंच, सिलिकॉन कार्बाइड गाइड रेल, सिलिकॉन कार्बाइड स्लाइड रेल घटकों के निर्माण का एहसास हुआ है।
भविष्य में, हम सेमीकंडक्टर उद्योग में सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री के अनुप्रयोग का और विस्तार करेंगे और सेमीकंडक्टर उद्योग श्रृंखला और सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक उद्योग के उन्नयन में योगदान देंगे। चीन के सटीक सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक घटकों के स्वतंत्र अनुसंधान और घरेलू अनुप्रयोग संवर्धन अभी शुरू हुआ है, सेमीकंडक्टर उद्योग के जोरदार विकास के साथ, इस तरह के उच्च अंत सिरेमिक संरचना की बाजार मांग अधिक से अधिक बड़ी होगी, सिलिकॉन कार्बाइड अपने उत्कृष्ट भौतिक और रासायनिक गुणों के साथ, सेमीकंडक्टर उद्योग में व्यापक अनुप्रयोग संभावनाएं हैं।
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक में न केवल कमरे के तापमान पर उत्कृष्ट यांत्रिक गुण होते हैं, जैसे कि उच्च झुकने की ताकत, उत्कृष्ट ऑक्सीकरण प्रतिरोध, अच्छा संक्षारण प्रतिरोध, उच्च पहनने का प्रतिरोध और कम घर्षण गुणांक, बल्कि उच्च तापमान यांत्रिक गुण (शक्ति, रेंगना प्रतिरोध, आदि) भी सबसे अच्छी ज्ञात सिरेमिक सामग्री हैं। सिलिकॉन कार्बाइड में संक्षारण प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च शक्ति, अच्छी तापीय चालकता, प्रभाव प्रतिरोध ... आदि की विशेषताएं हैं।
वर्कपीस टेबल संरचना के लिए लिथोग्राफी मशीन की आवश्यकताएं: अल्ट्रा-लाइटवेट (गति जड़ता को कम करें, मोटर लोड को कम करें), अल्ट्रा-उच्च स्थिरता (अल्ट्रा-सटीक मशीनिंग के लिए उच्च-सटीक गति और स्थिति की आवश्यकता होती है, थर्मल विस्तार और अन्य कारकों के न्यूनतम आयामी विरूपण की आवश्यकता होती है), स्वच्छता (उच्च कठोरता और उच्च पहनने के प्रतिरोध), यह फोटोलिथोग्राफी मशीन द्वारा प्रतिनिधित्व एकीकृत सर्किट विनिर्माण के प्रमुख उपकरणों के लिए बड़े आकार, खोखली पतली दीवार, जटिल संरचना और सटीक सिलिकॉन कार्बाइड संरचनात्मक भागों की तकनीकी आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।
फाउंटाइल क्षमताएं
अधिकतम आकार:1600मिमी.
संरचना अनुकूलन:हल्के संरचना, वजन संरचना को कम करने के लिए डिज़ाइन किया जा सकता है।
उच्च सटीकता:समतलता को 5 माइक्रोन या उससे भी अधिक सटीकता के साथ नियंत्रित किया जा सकता है।