Cara memahami peralatan manufaktur semikonduktor

Proses depan dan proses belakang

Proses manufaktur semikonduktor adalah proses pemrosesan wafer silikon menjadi chip semikonduktor. Proses ini secara kasar dapat dibagi menjadi segmen depan dan segmen belakang. Bagian pertama adalah proses pembentukanSirkuit Terpadupada wafer silikon, yang merupakan proses operasi siklus. Proses pasca mengacu pada proses pemotongan chip dan pengemasan setelah selesainya proses sebelumnya.

Proses front dapat dibagi menjadi proses front-end dan back-end. Teknologi front-end adalah proses pembentukan elemen dasar seperti kapasitansi dan resistansi transistor yang menentukan kinerja pengoperasian sirkuit terpadu. Proses back-end adalah proses interkoneksi multi-lapis yang menghubungkan elemen-elemen individual dan mengubahnya menjadi sirkuit terpadu. Selain perlakuan panas implantasi ion hanya untuk front end, digunakan juga pencucian, pengeringan, litografi, etsa, pembentukan film, dan perataan.

Penggunaan wafer silikon

Kata Wafer dalam bahasa Inggris adalah Wafer, yang aslinya berarti wafer di atas es krim.

Wafer berikut sering digunakan untuk pemeliharaan peralatan semikonduktor

1. Wafer untuk deteksi partikel digunakan untuk memeriksa kebersihan peralatan secara teratur.

2. Wafer siklus yang digunakan untuk inspeksi transportasi digunakan untuk menguji stabilitas perangkat.

Dalam produksi aktual, wafer ini khusus untuk setiap perangkat guna mencegah kontaminasi silang antarperangkat. Secara khusus, wafer tersebut tidak dicampur dengan peralatan lain sebelum dan sesudah proses pembentukan lapisan logam.

Peralatan penanganan dan pembuatan wafer

Dalam proses front-end, semua objek operasi adalah wafer, atau masker cahaya. Di masa lalu, sebagian besar wafer ditangani dengan tangan. Wadah yang digunakan untuk menampung wafer disebut kaset, dimasukkan dengan tangan, atau pena vakum.

Sebagian besar pabrik saat ini menggunakan sistem penanganan AMHS otomatis dari Crane OHT untuk pemindahan wafer silikon antarperalatan. Wafer silikon dimuat ke dalam Foup, Foup dibuka melalui port pemuatan, lalu dipindahkan ke ruang proses oleh lengan robot. Perangkat biasanya berada di bawah tekanan positif untuk mencegah partikel memasuki perangkat. Hal ini juga dilakukan di darat oleh robot AGV.

Ruang bersih

Karena pembuatan sirkuit terpadu memiliki persyaratan tinggi untuk kebersihan lingkungan, maka perlu dipastikan bahwa udara di seluruh bengkel bersih, dan tubuh manusia juga merupakan sumber polutan, dan orang yang memasuki bengkel juga perlu mengenakan pakaian antidebu. Pada saat yang sama, untuk meningkatkan kebersihan bengkel, AC perlu sering diberi ventilasi, dan udara yang masuk ke bengkel perlu disaring melalui unit penyaring kipas FFU. Lantai ruang bersih juga sebagian besar berlubang, untuk membuat udara kembali, polutan juga dapat dihembuskan ke bawah lantai.

Syarat-syarat yang harus dipenuhi untuk peralatan manufaktur

1. Kinerja proses khususnya dibutuhkan untuk menangani keseragaman cetakan dalam satu wafer, serta pengulangan antar kelompok wafer.

2. Daerah pengecualian derajat harus kecil

Mengacu pada lingkar luar wafer yang tidak diproses. Semakin kecil areanya, semakin banyak chip yang dapat diproduksi.

3. Pemeliharaan dan waktu aktif mesin.

Peralatan harus mudah dirawat dan waktu perawatannya harus sesingkat mungkin.

4. Throughput Semakin banyak wafer yang dapat diproses per satuan waktu, semakin baik

5. Mengurangi jejak karbon

6.Fungsi CIM EAP

FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. LTD. adalah perusahaan modern di bidangKeramik Canggihmenggabungkan penelitian dan pengembangan, produksi dan penjualan menjadi satu, terutama memproduksi keramik berpori, alumina, zirkonia, silikon nitrida, silikon karbida, aluminium nitrida, keramik dielektrik gelombang mikro dan berbagai material keramik canggih lainnya. Pakar teknologi Jepang yang kami undang secara khusus memiliki pengalaman industri di bidang semikonduktor selama lebih dari 30 tahun, secara efisien menyediakan solusi aplikasi keramik khusus dengan ketahanan aus, ketahanan terhadap korosi, ketahanan terhadap suhu tinggi, konduktivitas termal tinggi, dan isolasi bagi para pelanggan dalam dan luar negeri.