Karbida silikon
Karbida silikon digunakan untuk bagian tahan korosi, bagian segel, bagian tahan suhu tinggi, rel pemandu dan balok persegi
Keramik silikon karbida memiliki sifat mekanik yang sangat baik pada suhu normal, seperti kekuatan tinggi, kekerasan tinggi, modulus elastisitas tinggi, stabilitas suhu tinggi yang sangat baik, seperti konduktivitas termal yang tinggi, koefisien ekspansi termal yang rendah, dan kekakuan spesifik yang baik serta sifat pemrosesan optik, terutama cocok untuk persiapan mesin fotolitografi dan peralatan sirkuit terpadu lainnya untuk komponen struktural keramik presisi. Seperti yang digunakan dalam meja benda kerja bergerak presisi mesin fotolitografi, rangka, cangkir hisap, pelat berpendingin air dan cermin pengukuran presisi, kisi-kisi dan komponen struktural keramik lainnya, bahan baru Fountyl setelah bertahun-tahun penelitian teknis, memecahkan ukuran besar, dinding tipis, berongga dan struktur kompleks lainnya dari masalah pemrosesan dan persiapan presisi komponen struktural silikon karbida, menerobos hambatan teknis dari teknologi persiapan komponen struktural silikon karbida presisi semacam ini. Ini telah sangat mempromosikan lokalisasi komponen struktural utama yang digunakan dalam peralatan manufaktur sirkuit terpadu.
● Keramik silikon karbida terutama meliputi silikon karbida sintering tanpa tekanan (SSiC), silikon karbida sintering reaksi (RBSC), silikon karbida deposisi uap kimia (CVD-SiC).
● Silikon karbida memiliki berbagai sifat yang sangat baik: sangat keras, tahan aus, konduktivitas termal dan kekuatan mekanis yang tinggi, koefisien ekspansi termal yang rendah, stabilitas termal yang sangat baik, kepadatan rendah, kekakuan spesifik yang tinggi, non-magnetik.
● Saat ini, keramik silikon karbida diaplikasikan dalam berbagai industri seperti industri penerbangan, kedirgantaraan, dan nuklir, seperti bagian keramik peralatan kelas atas untuk reflektor keramik silikon karbida dan manufaktur sirkuit terpadu IC, penukar panas, dan bahan antipeluru dalam kondisi ekstrem.
Fitur komponen struktural keramik presisi untuk peralatan manufaktur sirkuit terpadu:
① Sangat ringan: Untuk mengurangi inersia gerak, mengurangi beban motor, meningkatkan efisiensi gerak, akurasi dan stabilitas posisi, bagian struktural umumnya menggunakan desain struktur ringan, tingkat ringan adalah 60-80%, hingga 90%;
② Akurasi bentuk dan posisi yang tinggi: Untuk mencapai pergerakan dan pemosisian presisi tinggi, bagian struktural diharuskan memiliki akurasi bentuk dan posisi yang sangat tinggi, kerataan, paralelisme, dan tegak lurus diharuskan kurang dari 1μm, dan akurasi bentuk dan posisi diharuskan kurang dari 5μm.
③ Stabilitas dimensi tinggi: Untuk mencapai pergerakan dan posisi presisi tinggi, bagian struktural harus memiliki stabilitas dimensi yang sangat tinggi, tidak menghasilkan regangan, dan konduktivitas termal yang tinggi, koefisien ekspansi termal yang rendah, tidak mudah menghasilkan deformasi dimensi yang besar;
④ Bersih dan bebas polusi. Komponen struktural harus memiliki koefisien gesekan yang sangat rendah, kehilangan energi kinetik yang kecil selama gerakan, dan tidak ada polusi partikel gerinda. Material silikon karbida memiliki modulus elastisitas yang sangat tinggi, konduktivitas termal, dan koefisien ekspansi termal yang rendah, tidak mudah menghasilkan deformasi tegangan tekuk dan regangan termal, serta memiliki kemampuan poles yang sangat baik, dapat dikerjakan dengan mesin hingga menghasilkan cermin yang sangat baik; Oleh karena itu, silikon karbida memiliki keuntungan besar untuk digunakan sebagai material struktural presisi untuk peralatan utama sirkuit terpadu seperti mesin fotolitografi. Silikon karbida memiliki keuntungan dari stabilitas kimia yang baik, kekuatan mekanis yang tinggi, konduktivitas termal yang tinggi, dan koefisien ekspansi termal yang rendah, serta dapat diaplikasikan pada suhu tinggi, tekanan tinggi, korosi, dan radiasi lingkungan yang ekstrem.
Silikon karbida mempunyai keunggulan berupa kestabilan kimia yang baik, kekuatan mekanik yang tinggi, konduktivitas termal yang tinggi, dan koefisien ekspansi termal yang rendah, serta dapat diaplikasikan pada suhu tinggi, tekanan tinggi, korosi, dan radiasi lingkungan yang ekstrem.
Peralatan utama sirkuit terpadu mengharuskan bahan komponen memiliki karakteristik ringan, kekuatan tinggi, konduktivitas termal tinggi, dan koefisien ekspansi termal rendah, serta padat dan seragam tanpa cacat. Komponen harus memiliki akurasi dimensi dan stabilitas dimensi yang sangat tinggi untuk memastikan pergerakan dan kontrol peralatan yang sangat presisi. Keramik silikon karbida memiliki modulus elastisitas dan kekakuan spesifik yang tinggi, tidak mudah mengalami deformasi, serta memiliki konduktivitas termal yang tinggi dan koefisien ekspansi termal yang rendah, stabilitas termal yang tinggi, sehingga keramik silikon karbida merupakan bahan struktural yang sangat baik, saat ini dalam pembuatan sirkuit terpadu peralatan utama untuk memperoleh berbagai macam aplikasi, seperti mesin litografi dengan meja kerja silikon karbida, rel pemandu, reflektor, chuck keramik, dan efektor ujung keramik.
Fountyl dapat memenuhi mesin fotolitografi sebagai perwakilan peralatan utama manufaktur sirkuit terpadu dengan ukuran besar, dinding tipis berongga, struktur kompleks, teknologi persiapan komponen struktural karbida silikon presisi, seperti: chuck vakum karbida silikon, rel pemandu, reflektor, meja kerja dan serangkaian komponen struktural karbida silikon presisi untuk mesin fotolitografi.
| Properti | Sumber Air | ||
| Kepadatan (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulus Young (GPa) | 368 | ||
| Kekuatan lentur (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Konduktivitas Termal (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Rasio Poisson | 0.187 | ||
| Modulus geser (GPa) | 155 | ||