Balok persegi & rel pemandu untuk platform gerak ultra-presisi dan peralatan deteksi

Mengambil contoh rakitan chuck vakum, material yang digunakan pada era wafer 2 inci dan 4 inci paling awal adalah aluminium penerbangan, tetapi telah menemui hambatan kerataan yang sangat tinggi (lebih baik dari 1 mikron) di era wafer ukuran besar (8 "dan lebih dari 8"), yang tidak dapat memenuhi indeks keras kerataan yang sangat tinggi dan dihilangkan. Selanjutnya, material alumina sebagai transisi, modulus elastisitasnya, bobot yang ringan, konduktivitas termal dan koefisien ekspansi serta silikon karbida kerdil, tetapi tidak pada beberapa hal yang memalukan; Setelah terobosan dalam teknologi persiapan keramik silikon karbida struktur berongga berukuran besar dan berbentuk khusus yang kompleks, komponen termasuk alas benda kerja yang sangat presisi, pemandu pelampung udara yang sangat presisi, dan lengan transmisi wafer telah ditingkatkan.

Tidak hanya bagian keramik silikon karbida yang disebutkan di atas yang memenuhi indikator keras presisi sangat tinggi pada kerataan, paralelisme, dan vertikalitas, untuk bagian keramik silikon karbida kemurnian tinggi yang diperlukan untuk proses difusi wafer, doping, etsa dalam industri semikonduktor, terutama dalam teknologi persiapan material CVDSiC kemurnian tinggi, memiliki teknologi proses yang matang, dan telah mewujudkan pembuatan perahu kristal keramik silikon karbida kemurnian tinggi, pelat bantalan keramik silikon karbida, platform gerakan mengambang udara keramik silikon karbida, platform gerakan silikon karbida ultra-presisi, rel pemandu silikon karbida, komponen rel geser silikon karbida.

Di masa mendatang, kami akan lebih memperluas penerapan bahan silikon karbida dalam industri semikonduktor dan berkontribusi pada peningkatan rantai industri semikonduktor dan industri keramik silikon karbida. Penelitian independen dan promosi aplikasi domestik komponen keramik silikon karbida presisi Tiongkok baru saja dimulai, dengan pesatnya perkembangan industri semikonduktor, permintaan pasar untuk struktur keramik kelas atas semacam ini akan semakin besar, silikon karbida dengan sifat fisik dan kimianya yang sangat baik, dalam industri semikonduktor memiliki prospek aplikasi yang luas.