高精度シリコンカーバイドガイドレールはナノスケールのモーションプラットフォームに使用されます

シリコンカーバイドセラミックガイドレールの用途は次のとおりです。

炭化ケイ素セラミックガイドレールは、半導体リソグラフィー装置のコアコンポーネントの1つであり、炭化ケイ素セラミックエアフローテーションモーションプラットフォーム、炭化ケイ素超精密移動プラットフォーム、炭化ケイ素ガイドレール、炭化ケイ素スライドレール、炭化ケイ素真空サクションカップ、炭化ケイ素リフレクター、炭化ケイ素クロスビーム、炭化ケイ素ワークピーステーブルなどに適用されます。主な機能は、指定された移動軌道に沿ってウェーハを運び、高速超精密モーションを実行し、一連の露光に必要なアクションを完了することです。これには、ロードとアンロード、アライメント、ウェーハプロファイル測定と露光などが含まれます。高速移動条件下でナノメートルレベルのモーション精度を達成する必要があります。