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高精度スピンドルには高精度炭化ケイ素角梁が使用されています
セラミックビーム

高精度スピンドルには高精度炭化ケイ素角梁が使用されています

炭化ケイ素セラミックビームの応用:

これはリソグラフィー装置のコアコンポーネントの 1 つであり、主な機能は、上部と下部のピース、アライメント、ウェーハ表面の測定、露光など、一連の露光を完了するために必要な高速で正確な移動と動作のために、規定の軌道に沿ってウェーハを運ぶことです。

    製品の特徴:

    炭化ケイ素セラミックスは、室温での優れた機械的特性(高い曲げ強度、優れた耐酸化性、良好な耐腐食性、高い耐摩耗性、低い摩擦係数など)に加え、高温における機械的特性(強度、耐クリープ性など)もセラミック材料の中ではよく知られています。炭化ケイ素は、耐腐食性、耐高温性、高強度、優れた熱伝導性、耐衝撃性といった優れた特性を備えています。

     

    1. 高強度

    2. 耐高温性

    3. 強い耐腐食性

    4. 高い耐酸化性

    5. 優れた耐熱衝撃性

    6. 高い熱伝導率


    目的

    超精密モーションプラットフォーム、より精密な検出装置。

    サンプルや図面に応じてカスタマイズされた製品を生産できます。

    半導体専用装置や精密試験装置では、コア部品に対する要求が非常に高くなります。

    要件:超軽量(運動慣性とモーター負荷を軽減)、超安定性(超精密加工には高精度な運動と位置決めが必要で、熱膨張などによる寸法変形が最小限に抑えられる)、クリーン性(高硬度、高耐摩耗性)を備え、精密機器用の大型、中空薄肉、複雑構造、精密シリコンカーバイド構造部品の製造に対する技術要件を満たすことができます。


    Fountylの利点

    1、日本の技術、炭化ケイ素セラミック材料の自主的な研究開発と生産。

    2、最長ビームサイズ:1600 mm

    3、構造カスタマイズ:軽量構造、軽量化構造を設計できます。

    4、高精度:超高精度、異なる構造と異なるサイズに応じて、顧客に精度を確認してください。

    5、材質を選択できます:アルミナセラミック、炭化ケイ素セラミック。