Produk Teras

Wafer pin chuck (juga dipanggil convex chuck), adalah chuck perindustrian yang biasa digunakan dalam industri semikonduktor, dengan rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, rintangan haus dan ciri-ciri lain. Ia biasanya diperbuat daripada bahan seramik silikon karbida atau alumina dengan struktur seperti titik terangkat pada permukaan untuk memberikan penjerapan dan kestabilan yang lebih baik.

Convex chuck digunakan secara meluas dalam peralatan pengeluaran semikonduktor untuk menyerap, membetulkan, memindahkan dan mengendalikan wafer silikon, wafer dan pelbagai bahan kerja dan bahan.

Ring groove chuck (groove chuck) ialah chuck perindustrian yang biasa digunakan dalam industri semikonduktor, dengan rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, rintangan haus dan ciri-ciri lain. Biasanya diperbuat daripada bahan seramik silikon karbida atau alumina.

Ia digunakan secara meluas dalam peralatan pengeluaran semikonduktor untuk menyerap, membetulkan, memindahkan dan mengendalikan wafer silikon, wafer dan pelbagai bahan kerja dan bahan.

Chuck vakum seramik mikroporous juga dipanggil chuck vakum mikroporous nano, yang bermaksud bahawa badan pepejal atau vakum seragam dihasilkan melalui proses pembuatan serbuk nano khas, dan sejumlah besar bahan seramik yang disambungkan atau tertutup dihasilkan di dalam bahan melalui pensinteran suhu tinggi . Dengan struktur khasnya, ia mempunyai kelebihan rintangan suhu tinggi, rintangan haus, rintangan kakisan kimia, kekuatan mekanikal yang tinggi, penjanaan semula mudah dan rintangan kejutan haba yang sangat baik, yang boleh digunakan untuk bahan penapisan suhu tinggi, pembawa pemangkin, elektrod bahan api berliang. sel, komponen sensitif, membran pemisah, bioseramik, dsb., membentangkan kelebihan aplikasi unik dalam industri kimia, perlindungan alam sekitar, tenaga, elektronik, biokimia.

Pengesan akhir seramik dengan fungsi tinggi, ketahanan suhu tinggi, rintangan haus tinggi digunakan untuk masa yang lama dalam persekitaran suhu tinggi tanpa menyebabkan kerosakan, dan haus bahan yang akan dialihkan juga dikurangkan kepada minimum, mengawal penyebaran dengan berkesan bahan najis ke badan yang digerakkan, dan permukaannya juga boleh diproses mengikut keperluan pelanggan dengan dimensi khas dan ciri fungsi yang tinggi.

Pengesan akhir seramik untuk pemacu cakera cip peralatan semikonduktor, bahagian seramik ketepatan mempunyai kekuatan struktur yang baik, rintangan suhu tinggi, rintangan tekanan tinggi, ketepatan yang baik, keselarian yang baik, organisasi padat dan seragam, kekuatan tinggi. Ia telah digunakan oleh kilang pengeluaran semikonduktor selama bertahun-tahun. Fountyl mempunyai sekumpulan jurutera cemerlang dengan kemahiran unik dan cemerlang dalam projek pemprosesan makhluk asing seramik. teknologi pemprosesan asing adalah kekuatan syarikat kami.

Platform pergerakan terapung udara seramik silikon karbida, platform mudah alih ultra ketepatan silikon karbida, rel panduan silikon karbida, rel slaid silikon karbida, penyedut vakum silikon karbida, cermin silikon karbida, rasuk silikon karbida, meja bahan kerja silikon karbida dan satu siri silikon karbida ketepatan bahagian struktur untuk mesin litografi, adalah salah satu komponen teras mesin litografi. Fungsi utamanya adalah untuk membawa wafer untuk melakukan pergerakan ultra-ketepatan berkelajuan tinggi mengikut trajektori pergerakan yang ditentukan dan melengkapkan satu siri tindakan yang diperlukan untuk pendedahan, termasuk ke atas dan ke bawah, penjajaran, pengukuran dan pendedahan profil wafer, yang memerlukan ketepatan gerakan. 2nm dalam kes pergerakan berkelajuan tinggi.

Omboh seramik ketepatan terdiri daripada dua bahagian lengan omboh dan rod omboh. Ia dibentuk oleh serbuk mentah ketulenan tinggi yang diimport dengan menekan statik, disinter dengan suhu 1700 darjah, dan kemudian pemesinan ketepatan. Kawalan yang munasabah pada lengan omboh dan rod omboh dengan kelegaan adalah ketepatan yang sangat tinggi, silinder dan tirus adalah paras mikron.