Leave Your Message
Voor bewegingsplatformen op nanoschaal worden uiterst nauwkeurige geleiderails van siliciumcarbide gebruikt.
Keramiekgids

Voor bewegingsplatformen op nanoschaal worden uiterst nauwkeurige geleiderails van siliciumcarbide gebruikt.

De toepassingen van keramische geleiderails van siliciumcarbide zijn:

De keramische geleiderail van siliciumcarbide is een van de kerncomponenten van een halfgeleiderlithografiemachine en wordt toegepast in: keramische luchtzweefplatforms van siliciumcarbide, ultraprecisieplatforms van siliciumcarbide, geleiderails van siliciumcarbide, schuifrails van siliciumcarbide, vacuümzuignappen van siliciumcarbide, reflectoren van siliciumcarbide, dwarsbalken van siliciumcarbide, werktafels van siliciumcarbide, enz. De belangrijkste functie is het transporteren van de wafer langs een vooraf bepaalde bewegingsbaan met hoge snelheid en ultraprecisie, en het uitvoeren van een reeks belichtingshandelingen. Dit omvat laden en lossen, uitlijnen, waferprofielmeting en belichting, enz. Het is vereist om een ​​bewegingsnauwkeurigheid op nanometerniveau te bereiken onder omstandigheden met hoge snelheid.

    De toepassingen van keramische geleiderails van siliciumcarbide zijn:

    De keramische geleiderail van siliciumcarbide is een van de kerncomponenten van een halfgeleiderlithografiemachine en wordt toegepast in: keramische luchtzweefplatforms van siliciumcarbide, ultraprecisieplatforms van siliciumcarbide, geleiderails van siliciumcarbide, schuifrails van siliciumcarbide, vacuümzuignappen van siliciumcarbide, reflectoren van siliciumcarbide, dwarsbalken van siliciumcarbide, werktafels van siliciumcarbide, enz. De belangrijkste functie is het transporteren van de wafer langs een vooraf bepaalde bewegingsbaan met hoge snelheid en ultraprecisie, en het uitvoeren van een reeks belichtingshandelingen. Dit omvat laden en lossen, uitlijnen, waferprofielmeting en belichting, enz. Het is vereist om een ​​bewegingsnauwkeurigheid op nanometerniveau te bereiken onder omstandigheden met hoge snelheid.

    Productkenmerken:

    Productkenmerken:

    Siliciumcarbidekeramiek heeft niet alleen uitstekende mechanische eigenschappen bij kamertemperatuur, zoals een hoge buigsterkte, uitstekende oxidatieweerstand, goede corrosiebestendigheid, hoge slijtvastheid en een lage wrijvingscoëfficiënt, maar ook goede mechanische eigenschappen bij hoge temperaturen (sterkte, kruipweerstand, enz.). Het is een bekend keramisch materiaal met uitstekende eigenschappen. Siliciumcarbide kenmerkt zich door corrosiebestendigheid, hoge temperatuurbestendigheid, hoge sterkte, goede warmtegeleiding en slagvastheid.

     

    1.Hoge sterkte

    2.Hittebestendig

    3.Sterke corrosiebestendigheid

    4.Hoge oxidatieweerstand

    5.Goede thermische schokbestendigheid

    6.Hoge thermische geleidbaarheid



    Fountyl-voordelen

    1. Japanse technologie, onafhankelijk onderzoek, ontwikkeling en productie van keramische materialen van siliciumcarbide;

    2. De langste afmeting: 1600 mm

    3. Structuuraanpassing: lichtgewicht structuur, ontwerp met gewichtsbesparing mogelijk.

    4. Hoge precisie: hoge precisie, afhankelijk van de structuur en de afmetingen. Bevestig de nauwkeurigheid met de klant.

    5. Materiaalkeuze mogelijk: aluminiumoxide, siliciumcarbidekeramiek