Waferhouder

ESC maakt gebruik van elektrostatische kracht om de wafer of het substraat stevig vast te zetten in de vacuümomgeving van de verwerkingsapparatuur. Deze methode elimineert de mogelijke schade die gepaard gaat met traditionele mechanische klemmethoden, die fijne oppervlakken kunnen krassen of spanningsbreuken kunnen veroorzaken. In tegenstelling tot een vacuümklem is ESC niet afhankelijk van drukverschillen, waardoor meer controle en flexibiliteit bij de waferverwerking mogelijk is.

De 7 belangrijkste voordelen van het gebruik van E-Chuck:

1. Niet-mechanische klemming: De E-spantang biedt een unieke methode om objecten te bevestigen door middel van elektrostatische kracht, zonder de fysieke druk die nodig is bij traditionele mechanische bevestigingsmiddelen. Deze innovatieve, niet-mechanische klemmethode beschermt niet alleen kwetsbare materialen, maar zorgt ook voor contact zonder de noodzaak van omvangrijke klemmechanismen, waardoor waardevolle ruimte wordt bespaard.

2. Gelijkmatige klemkracht: De klemkracht van de E-spantang zorgt voor een constante en stabiele klemkracht over het gehele oppervlak van het object, waardoor een veilige grip en stabiliteit worden gegarandeerd. Het vermogen om wafers gelijkmatig af te vlakken is buitengewoon goed en overtreft de prestaties van vacuümspantangen, die doorgaans moeite hebben om een ​​vlak oppervlak te bereiken. Deze uniformiteit is cruciaal voor het behoud van de integriteit en vlakheid van het substraat gedurende het gehele productieproces.

3. Temperatuurregeling: Een ander belangrijk voordeel van elektrostatische zuignappen is dat ze de temperatuur tijdens het productieproces kunnen regelen. De E-zuignap gebruikt elektriciteit om het substraat naar behoefte te verwarmen of te koelen. Deze mogelijkheid zorgt voor optimale verwerkingsomstandigheden en vermindert de thermische belasting van gevoelige materialen.

4: Inersatiliteit: De spankop E heeft een groot aanpassingsvermogen en is geschikt voor allerlei materialen, vormen en afmetingen. Of het nu gaat om het vastzetten van halfgeleiderwafels, platte beeldschermen of textielmaterialen, elektronische spankoppen bieden multifunctionele klemoplossingen.

5. Deeltjesvervuiling verminderen: De klem wordt zonder fysiek contact met het object vastgeklemd, waardoor het risico op deeltjesvervuiling in de cleanroomomgeving wordt geminimaliseerd. Deze mogelijkheid is cruciaal in de halfgeleiderproductie, aangezien zelfs minuscule deeltjes de prestaties en opbrengst van chips kunnen beïnvloeden.

6. Verbeterde productiviteit: De elektrische spankop biedt veiligheid en stabiliteit bij het klemmen, wat bijdraagt ​​aan een hogere industriële productiviteit. De nauwkeurige besturing en betrouwbaarheid minimaliseren de stilstandtijd als gevolg van fouten bij de materiaalhantering. De elektrische spankop biedt daarom een ​​hogere efficiëntie.

7 Kosteneffectiviteit: Hoewel de initiële investering voor de E-spantang hoger is dan die van traditionele mechanische spantangen, is de kosteneffectiviteit op lange termijn uitstekend. In vergelijking met vacuümspantangen verminderen ze de materiaalverspilling aanzienlijk, verhogen ze de procesoutput en hebben ze lagere onderhoudskosten. Bovendien levert de combinatie van monitors en sensoren realtime prestatiegegevens voor operators, waardoor onderhoudsplannen en operationele efficiëntie worden verbeterd.

01/ Spantang met lage lekkage

02/ Spankoppen voor hoge en lage temperaturen

03/ Hoogspannings- en hoogstroomklem

04/ Fijngatspankop

05/ Snelle vervanging van de bovenste schijfspankoppen

06/ Temperatuurregelsysteem

07 / Nieuw type verpakkingsklem op maat

Een nauwkeurige testoplossing met meerkanaals temperatuurregeling voor geavanceerde chipverpakkingen.

◆Ontwerp van een complete set testoplossingen

◆Geef een simulatieanalyse van het schema.

◆Test de technische ondersteuning

08/ Aangepaste spankop voor laserweerstandsreparatieapparatuur

Op maat gemaakte spankoppen voor weerstandsreparatieapparatuur

◆Lekstroom 0,00001 mA

◆Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling met meerdere kanalen: ±1 ℃

◆Bedrijfstemperatuur: Kamertemperatuur tot 150℃

09/ Aangepaste spankop voor filminspectieapparatuur

Op maat gemaakte spankoppen voor filminspectieapparatuur

◆Zorg voor 485 communicatie

◆De nauwkeurigheid van de meerkanaals temperatuurregeling bedraagt ​​±1℃.

◆Bedrijfstemperatuur: Kamertemperatuur tot 150℃

10/ Andere soorten maatwerkontwerpen

Wij bieden diverse diensten aan op het gebied van spankopontwerp.

◆Professionele apparatuur- en materiaalanalyse

◆Driedimensionale gegevensmeting

◆Model simulatieanalyse

11/ Chuck-bewerkingsservice

Wij bieden diverse bewerkingsdiensten voor spankoppen aan.

FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. LTD. is gevestigd in Singapore en is gespecialiseerd in de vorming, het sinteren en de bewerking van keramische materialen. Het bedrijf bedient halfgeleidergebruikers en levert producten zoals siliciumcarbide spankoppen, poreuze keramische vacuümspankoppen, luchtgeveerde tafels, keramische eindeffectoren en keramische geleiderails. Neem gerust contact met ons op voor verdere zakelijke samenwerking.