Uchwyt elektrostatyczny
Uchwyt elektrostatyczny o kompatybilności, dużej gęstości, wysokiej wytrzymałości strukturalnej z dostosowanymi
Cechy
Zgodność | Dostosowanie | Wysoka gęstość | Wysoka wytrzymałość strukturalna | Krótki czas dostawy | Opłacalność
Aplikacje
Lon-implantacja | Cienkie warstwy | Wytrawianie | Rozwój procesów | Projektowanie sprzętu
Projekt i produkcja
Dostarczono 12-calowy Fab w celu sprawdzenia rzeczywistej wydajności, zapewnienia regeneracji i naprawy oraz weryfikacji rozwoju i projektu.
Wraz z rozwojem sprzętu procesowego i technologii procesowej półprzewodników i układów scalonych, tradycyjne uchwyty elektrostatyczne wykorzystujące organiczne materiały polimerowe, tlenki metali i materiały ceramiczne jako dielektryki nie są w pełni kompatybilne z takimi materiałami jak płytki krzemowe, szafir i węglik krzemu. Dlatego uchwyty elektrostatyczne kompatybilne z chwytakami płytek półprzewodnikowych pierwszej, drugiej i trzeciej generacji będą stopniowo się rozwijać.
Uchwyt elektrostatyczny polimerowy / grzałka
Materiał dielektryczny polimerowy (Polimer) jest obecnie najszerzej stosowanym materiałem elektrostatycznego uchwytu, jego proces przygotowania jest również najbardziej dojrzały, materiał dielektryczny polimerowy po obróbce modyfikującej polimer, właściwości elektryczne, mechaniczne, odporności na temperaturę, odporności na halogeny ulegną znacznej poprawie. Materiał dielektryczny jest wzorowany przez inne zintegrowane operacje, a następnie warstwowany przez wieloetapowe obciążenie próżniowe, a między wewnętrznymi elektrodami tworzy się gęsta warstwa izolacji dielektrycznej.
Uchwyt elektrostatyczny polimerowy
Technologia modyfikacji polimerów jest stosowana w celu uzyskania wyższej rezystywności objętościowej i względnej stałej dielektrycznej, a także uzyskania stabilniejszej siły zacisku.
Materiały dielektryczne o dużej gęstości mogą ograniczyć ryzyko powstawania cząstek stałych i ograniczyć ruchliwość jonów.
Różnorodność obiektów mocowanych pozwala na mocowanie płytek wykonanych z różnych materiałów.
Doskonała odporność na korozję w atmosferach halogenowych i plazmowych.
Wysoka opłacalność, krótki okres akceptacji, odpowiednie do rozwoju procesu produkcyjnego i weryfikacji rozwoju nowego sprzętu.
Uchwyt elektrostatyczny polimerowy z grzałką
Urządzenie umożliwia rozmieszczenie wielu stref temperatury grzania (do 20 stref temperatury) i charakteryzuje się dobrą równomiernością temperatury grzania (±5%℃@150℃).
Technologia laminowania próżniowego pozwala na osiągnięcie wyjątkowo dużej gęstości i temperatury nagrzewania do 200°C.
Jednolita krzywa grzania z szerszym zakresem ustawień krzywej temperatury.
Wysoka opłacalność, krótki okres akceptacji, odpowiednie do rozwoju procesu produkcyjnego i weryfikacji rozwoju nowego sprzętu.
Ceramiczny uchwyt elektrostatyczny / grzałka
Technologia koagulacji ceramicznej to ulepszony proces spiekania w rozwoju ceramicznych elektrostatycznych uchwytów i grzejników z tlenku glinu/azotku glinu. Jej rdzeniem jest wykorzystanie różnych ceramicznych proszków o średnicy nanometrów, które są mieszane w określonej proporcji za pomocą unikalnego sprzętu mieszającego i procesu mieszania. Ceramiczne elektrostatyczne uchwyty o wysokiej gęstości, stabilnej strukturze krystalicznej i równomiernym rozkładzie rezystywności zostały spiekane z określoną krzywą temperatury spiekania w sprzęcie do spiekania. Statyczny uchwyt wytworzony w technologii koagulacji ceramicznej ma wysoką gęstość, stabilną strukturę krystaliczną i równomierny rozkład rezystywności objętościowej i może realizować normalną funkcję zaciskania chipa w trudnych warunkach wysokiej próżni, plazmy i halogenu.
Uchwyt elektrostatyczny Al₂O₃
Rezystywność objętościowa jest kontrolowana za pomocą technologii ceramiki koagulacyjnej i procesu współwypalania, co pozwala uzyskać dłuższą siłę trzymania.
Struktura wewnętrzna spiekania w wysokiej temperaturze jest gęsta, struktura krystaliczna stabilna, co pozwala na uzyskanie większej pojemności cieplnej.
Zintegrowana technologia współspalania redukuje migrację jonów.
Długotrwała praca w atmosferze plazmowo-halogenowo-próżniowej.
Uchwyt elektrostatyczny AlN
Kontrolując skład i proporcje materiału betonowego, można regulować rezystywność objętościową i uzyskać pojemność zatrzymywania w większym przedziale temperatur.
Równomierny rozkład stref temperaturowych uzyskano dzięki technologii spiekania i procesowi współwypalania ceramiki betonowej.
Zintegrowane formowanie współspalania w celu uzyskania najwyższej jakości produktu.
Długotrwała praca w atmosferze plazmowo-halogenowo-próżniowej.
Ceramiczny uchwyt elektrostatyczny z grzałką
Urządzenie umożliwia rozmieszczenie wielu stref temperatury grzania i charakteryzuje się dobrą równomiernością temperatury grzania (±7,5%℃@350℃).
Technologia spiekania metodą laminowania próżniowego pozwala na osiągnięcie niezwykle wysokiego zagęszczenia i temperatury nagrzewania dochodzącej do 550℃.
Zintegrowane formowanie współspalania w celu uzyskania najwyższej jakości produktu.
Długotrwała praca w atmosferze plazmowo-halogenowo-próżniowej.
Uchwyt elektrostatyczny / grzałka typu złożonego
Może być kompatybilny z krzemem, arsenkiem galu, węglikiem krzemu, szafirem zacisku wafli, może zmniejszyć koszty wymiany przewodów u producentów sprzętu i użytkowników końcowych. W oparciu o technologię ceramiki betonowej i technologię modyfikacji polimerów, zastosowanie zintegrowanej laminacji próżniowej i technologii łączenia na gorąco może zmniejszyć wewnętrzny opór cieplny elektrostatycznego ssawki, osiągnąć wewnętrzną jednorodność temperatury, utworzyć gęstą warstwę izolacji dielektrycznej w celu poprawy odporności na migrację jonów.
Uchwyt elektrostatyczny typu złożonego
Zastosowanie technologii modyfikacji betonu ceramiką i polimerami pozwoliło uzyskać gęstszą strukturę i mniejsze wydzielanie gazów.
Ściślejsza kontrola grubości warstwy dielektrycznej i zespołu elektrod.
Różnorodność obiektów mocowanych umożliwia mocowanie różnych płytek.
Można dokładnie kontrolować rezystywność ciała, aby uzyskać większą pojemność elektrostatyczną.
Wysoka opłacalność, krótki okres akceptacji, odpowiednie do rozwoju procesu produkcyjnego i weryfikacji rozwoju nowego sprzętu.
Uchwyt elektrostatyczny typu złożonego z grzałką
Urządzenie umożliwia rozmieszczenie wielu stref temperatury grzania i charakteryzuje się dobrą równomiernością temperatury grzania (±3,5%℃@150℃).
Technologia laminowania próżniowego pozwala na osiągnięcie wyjątkowo dużej gęstości i temperatury nagrzewania do 200°C.
Jednolita krzywa grzania z szerszym zakresem ustawień krzywej temperatury.
Wysoka opłacalność, krótki okres akceptacji, odpowiednie do rozwoju procesu produkcyjnego i weryfikacji rozwoju nowego sprzętu.