Stół pływający na powietrzu
Porowata platforma powietrzna z technologią przenoszenia obciążeń w trybie bezkontaktowym dla przemysłu półprzewodnikowego
Tradycyjna platforma powietrzna wykorzystuje na ogół technologię dławienia małymi otworami, dławienia torusowego lub dławienia szczelinowego, która charakteryzuje się prostą technologią przetwarzania, ale gdy zmienia się ciśnienie powietrza zasilającego, łatwo jest wywołać zjawisko gwizdania, dźwięk jest ostry, a nośność również ulega wahaniom, co nie jest odpowiednie dla cichego i stabilnego środowiska pracy pod względem ciśnienia.
Tradycyjne podłoża szklane TFT-LCD są wykonywane przez ramiona robotów (roboty) i systemy AGV (automatycznie prowadzone pojazdy). Podłoże szklane w procesie produkcyjnym. Jest to operacja kontaktowa z platformą przesuwającą obciążenie (lub rolką). Gdy podłoże szklane styka się z platformą przesuwającą obciążenie lub rolką, dotykanie i tarcie powoduje te uszkodzenia lub wady problemy z brakującymi narożnikami, pękaniem, uszkodzeniami, zanieczyszczeniem i elektrycznością statyczną na powierzchni podłoża szklanego, a następnie wpływają na wydajność produkcji i jakość produktu, oprócz zastosowania przenoszenia obciążenia obrotowego rolki, nadal istnieją problemy techniczne do przezwyciężenia. Problemy te mają głęboki wpływ na wydajność produkcji podłoży szklanych o dużych rozmiarach i pilnie wymagają poprawy. Jeśli technologia bezkontaktowej platformy powietrznej może zastąpić problemy wynikające z tradycyjnej technologii przesuwania obciążenia kontaktowego, będzie to skuteczne rozwiązanie. Zalety systemu Air Floating:
1. Zero tarcia.
2. Brak śladów zużycia.
3. Ruch prosty i ruch obrotowy są możliwe do zastosowania.
4. Cicha i płynna praca.
5. Większe tłumienie.
6. Wyeliminuj olej.
Struktura platformy powietrznej składa się z nanoporowatej ceramiki osadzonej w podstawie, tworząc komorę próżniową. Czyste sprężone powietrze bez wody i oleju jest wprowadzane do szczeliny powietrznej między powierzchnią łożyska a prowadnicą powietrzną przez rurę gazową. Gaz przepływa przez szczelinę powietrzną, aby powierzchnia łożyska unosiła się na prowadnicy powietrznej. Gaz działa jako środek smarny, aby przesuwać lub transportować obiekty bez tarcia.
Budowa wspólnego otworu powietrznego:
a) Struktura dławiąca otwór
b) Struktura porowata
Największy niestandardowy rozmiar: długość 1600mm, szerokość 1000mm
Sprzęt do transportu bezkontaktowego i przesuwania ładunków ma na celu głównie poprawę problemów powodowanych przez tradycyjną technologię obsługi po zwiększeniu się szklanego podłoża, ponieważ w procesie transportu i przesuwania ładunków nie ma bezpośredniego kontaktu z obiektem roboczym, dzięki czemu można uniknąć występowania zanieczyszczeń, naprężeń, elektryczności statycznej i uszkodzeń szklanego podłoża. Materiał porowaty z drugiej strony znacznie zmniejsza przepływ gazu, osiąga równomierne ciśnienie powietrza i dobry rozkład poduszki powietrznej oraz zapewnia wystarczającą wysokość pływania wymaganą do pracy.