Produkt główny
Belka kwadratowa i szyna prowadząca do platform ruchu o wysokiej precyzji i urządzeń wykrywających
Biorąc za przykład zespół uchwytu próżniowego, materiał używany w najwcześniejszej erze płytek 2-calowych i 4-calowych to aluminium lotnicze, ale napotkało ono wąskie gardło ultra-wysokiej płaskości (lepszej niż 1 mikron) w erze płytek o dużych rozmiarach (8 "i więcej niż 8"), która nie może spełnić twardego indeksu ultra-wysokiej płaskości i jest eliminowana. Następnie materiał z tlenku glinu jako przejście, jego moduł sprężystości, lekkość, przewodność cieplna i współczynnik rozszerzalności oraz węglik krzemu karzeł, ale nie na jakimś zawstydzającym; Po przełomie w technologii przygotowania dużych i złożonych specjalnie ukształtowanych pustych struktur ceramiki z węglika krzemu, komponenty, w tym ultra-precyzyjna podstawa przedmiotu obrabianego, ultra-precyzyjna prowadnica pływaka powietrznego i ramię transmisyjne płytki zostały zmodernizowane.
Nie tylko wyżej wymienione części ceramiczne z węglika krzemu, które spełniają ultraprecyzyjne wskaźniki płaskości, równoległości i pionowości, ale także wysokiej czystości części ceramiczne z węglika krzemu wymagane do dyfuzji płytek, domieszkowania i trawienia w procesach w przemyśle półprzewodnikowym, zwłaszcza w technologii przygotowania materiałów CVDSiC o wysokiej czystości, mają dojrzałą technologię procesową i zrealizowały produkcję wysokiej czystości łódki z kryształu ceramicznego z węglika krzemu, płyty nośnej z ceramiki z węglika krzemu, pływającej platformy powietrznej z ceramiki z węglika krzemu, ultraprecyzyjnej platformy ruchomej z węglika krzemu, szyny prowadzącej z węglika krzemu, komponentów szyny ślizgowej z węglika krzemu.
W przyszłości będziemy dalej rozszerzać zastosowanie materiałów z węglika krzemu w przemyśle półprzewodnikowym i przyczyniać się do modernizacji łańcucha przemysłu półprzewodnikowego i przemysłu ceramiki z węglika krzemu. Chińskie precyzyjne komponenty ceramiczne z węglika krzemu niezależne badania i promocja zastosowań krajowych dopiero się rozpoczęły, wraz z energicznym rozwojem przemysłu półprzewodnikowego, popyt rynkowy na tego rodzaju wysokiej klasy strukturę ceramiczną będzie coraz większy, węglik krzemu ze swoimi doskonałymi właściwościami fizycznymi i chemicznymi, w przemyśle półprzewodnikowym ma szerokie perspektywy zastosowania.
Ceramika węglika krzemu nie tylko ma doskonałe właściwości mechaniczne w temperaturze pokojowej, takie jak wysoka wytrzymałość na zginanie, doskonała odporność na utlenianie, dobra odporność na korozję, wysoka odporność na zużycie i niski współczynnik tarcia, ale także właściwości mechaniczne w wysokiej temperaturze (wytrzymałość, odporność na pełzanie itp.) są najlepiej znanymi materiałami ceramicznymi. Węglik krzemu ma cechy odporności na korozję, odporności na wysoką temperaturę, wysokiej wytrzymałości, dobrej przewodności cieplnej, odporności na uderzenia... itp.
Wymagania dotyczące struktury stołu obrabianego przedmiotu w przypadku maszyny litograficznej: ultralekka waga (zmniejszenie bezwładności ruchu, zmniejszenie obciążenia silnika), ultrawysoka stabilność (ultraprecyzyjna obróbka wymaga precyzyjnego ruchu i pozycjonowania, co wymaga minimalnych odkształceń wymiarowych wynikających z rozszerzalności cieplnej i innych czynników), czystość (wysoka twardość i odporność na zużycie). Może ona spełniać wymagania techniczne dotyczące dużych rozmiarów, pustych, cienkościennych ścianek, złożonej struktury i precyzyjnych części konstrukcyjnych z węglika krzemu dla kluczowego wyposażenia do produkcji układów scalonych reprezentowanego przez maszynę fotolitograficzną.
Możliwości Fountyla
Maksymalny rozmiar:1600 mm.
Dostosowywanie struktury:lekka konstrukcja, może być zaprojektowana w celu zmniejszenia ciężaru konstrukcji.
Wysoka dokładność:Płaskość można kontrolować z dokładnością do 5 mikronów, a nawet większą.