Leave Your Message
Trilhos-guia de carboneto de silício de alta precisão são usados ​​em plataformas de movimento em nanoescala.
Guia de cerâmica

Trilhos-guia de carboneto de silício de alta precisão são usados ​​em plataformas de movimento em nanoescala.

As aplicações de guias de cerâmica de carboneto de silício são:

O trilho guia de cerâmica de carboneto de silício é um dos componentes principais das máquinas de litografia de semicondutores, sendo aplicado em: plataforma de movimento de flutuação a ar de cerâmica de carboneto de silício, plataforma de movimento de ultraprecisão de carboneto de silício, trilho guia de carboneto de silício, trilho deslizante de carboneto de silício, ventosa a vácuo de carboneto de silício, refletor de carboneto de silício, travessa de carboneto de silício, mesa de trabalho de carboneto de silício, etc. Sua principal função é transportar o wafer para realizar movimentos de ultraprecisão em alta velocidade ao longo da trajetória de movimento designada e completar uma série de ações necessárias para a exposição. Isso inclui carga e descarga, alinhamento, medição do perfil do wafer e exposição, etc. É necessário alcançar precisão de movimento em nível nanométrico sob condições de movimento de alta velocidade.

    As aplicações de guias de cerâmica de carboneto de silício são:

    O trilho guia de cerâmica de carboneto de silício é um dos componentes principais das máquinas de litografia de semicondutores, sendo aplicado em: plataforma de movimento de flutuação a ar de cerâmica de carboneto de silício, plataforma de movimento de ultraprecisão de carboneto de silício, trilho guia de carboneto de silício, trilho deslizante de carboneto de silício, ventosa a vácuo de carboneto de silício, refletor de carboneto de silício, travessa de carboneto de silício, mesa de trabalho de carboneto de silício, etc. Sua principal função é transportar o wafer para realizar movimentos de ultraprecisão em alta velocidade ao longo da trajetória de movimento designada e completar uma série de ações necessárias para a exposição. Isso inclui carga e descarga, alinhamento, medição do perfil do wafer e exposição, etc. É necessário alcançar precisão de movimento em nível nanométrico sob condições de movimento de alta velocidade.

    Características do produto:

    Características do produto:

    A cerâmica de carbeto de silício não só possui excelentes propriedades mecânicas à temperatura ambiente, como alta resistência à flexão, excelente resistência à oxidação, boa resistência à corrosão, alta resistência ao desgaste e baixo coeficiente de atrito, como também é um material cerâmico bem conhecido por suas propriedades mecânicas em altas temperaturas (resistência, resistência à fluência, etc.). O carbeto de silício apresenta características como resistência à corrosão, resistência a altas temperaturas, alta resistência mecânica, boa condutividade térmica e resistência ao impacto.

     

    1.Alta resistência

    2.Resistente a altas temperaturas

    3.Alta resistência à corrosão

    4.Alta resistência à oxidação

    5.Boa resistência ao choque térmico

    6.Alta condutividade térmica



    Vantagens da Fountyl

    1. Tecnologia japonesa, pesquisa e desenvolvimento independentes e produção de materiais cerâmicos de carboneto de silício;

    2. Tamanho máximo: 1600 mm

    3. Personalização da estrutura: estrutura leve, estrutura com design que permite redução de peso.

    4. Alta precisão: alta precisão, de acordo com a estrutura e o tamanho diferentes, confirme a precisão com o cliente.

    5. Pode-se escolher o material: óxido de alumínio, cerâmica de carbeto de silício.