20-летний опыт работы с полупроводниковой керамикой, сверхточные направляющие из карбида кремния используются в фотолитографических машинах.

Применение направляющих рельсов из карбид-кремниевой керамики:

Направляющая рельса из карбида кремния с керамической основой является одним из основных компонентов литографической машины для полупроводниковой печати. Она применяется в следующих областях: платформа для перемещения по воздуху из карбида кремния с керамической основой, сверхточная подвижная платформа из карбида кремния, направляющая рельса из карбида кремния, направляющая рельса из карбида кремния, вакуумная присоска из карбида кремния, отражатель из карбида кремния, поперечная балка из карбида кремния, стол для заготовки из карбида кремния и т. д. Основная функция заключается в перемещении пластины для выполнения высокоскоростного сверхточного перемещения по заданной траектории движения и выполнения ряда требуемых действий экспонирования. Это включает в себя загрузку и выгрузку, выравнивание, измерение профиля пластины и экспонирование и т. д. Требуется достичь точности перемещения нанометрового уровня в условиях высокоскоростного перемещения.

Связаться с нами

Подробное описание материала

ВИДЕО

Характеристики продукта:

Характеристики продукта:

Керамика из карбида кремния обладает не только превосходными механическими свойствами при комнатной температуре, такими как высокая прочность на изгиб, отличная стойкость к окислению, хорошая коррозионная стойкость, высокая износостойкость и низкий коэффициент трения, но и высокими механическими свойствами (прочность, сопротивление ползучести и т. д.), являясь широко известным керамическим материалом. Карбид кремния обладает такими характеристиками, как коррозионная стойкость, стойкость к высоким температурам, высокая прочность, хорошая теплопроводность и ударопрочность.

1.Высокая прочность

2.Устойчив к высоким температурам

3.Высокая коррозионная стойкость

4.Высокая стойкость к окислению

5.Хорошая стойкость к тепловому удару

6.Высокая теплопроводность

Преимущества Fountyl

1.Японская технология, независимые исследования и разработки и производство керамических материалов из карбида кремния;

2. Самый длинный размер: 1600 мм

3. Индивидуализация конструкции: легкая конструкция, снижение веса может проектировать конструкцию,

4. Высокая точность: высокая точность, в зависимости от различной структуры и размера, пожалуйста, подтвердите точность у заказчика.

5.Можно выбрать материал: оксид алюминия, карбид кремния, керамика