Электростатический патрон HEFLOW
Электростатический патронЭлектростатические зажимы (ESC) играют важную роль в современных высокотехнологичных производственных процессах, особенно при работе с прецизионными объектами, такими как кремниевые пластины. Они надёжно фиксируют заготовку посредством электростатического усилия, что позволяет отказаться от использования традиционных механических приспособлений или вакуумного отсоса и упростить производственный процесс. В отличие от вакуумных зажимов, электростатические зажимы не зависят от перепада давления, что обеспечивает лучший контроль и гибкость при обработке пластин. Электростатические зажимы широко используются в таких процессах, как плазменное травление, химическое осаждение из газовой фазы (CVD) и ионная имплантация в производстве полупроводников.
В современном оборудовании для травления электростатическое электричество (ЭСЭ) обычно используется в качестве нижнего электрода. ЭСЭ — это статическое электричество, которое удерживает пластину на месте, поддерживая её постоянную температуру. Ранний традиционный способ фиксации пластин заключался в механическом прижатии её периферии к электроду. Однако этот метод имел два очевидных недостатка: 1) центр пластины не был плотно прижат к электроду; 2) часть пластины, прижатая механическим приспособлением, не поддавалась травлению.
Принцип ESC и принцип адсорбции
По структуре электростатические электроды (ЭСЭ) можно разделить на два типа: монополярные и биполярные. Принцип работы ЭСЭ можно свести к кулоновскому взаимодействию между положительным и отрицательным зарядами, действующим между пластиной и электродом, что приводит к прилипанию пластины к электроду.
На основании разницы в проводимости материалов электрохимические катоды (ЭСК) можно разделить на два типа: электрохимические катоды с кулоновской силой и электрохимические катоды с кулоновской силой (ЭСК) и электрохимические катоды с кулоновской силой (ЭСК). В электрохимических катодах с кулоновской силой между пластиной и ЭСК помещается изолятор (обычно алюмооксидная керамика или полиимид), и перемещение зарядов отсутствует. При подаче высокого напряжения 3000 В на обратной стороне пластины возбуждаются противоположные заряды, и пластина адсорбируется кулоновской силой между этими зарядами. Поскольку в электрохимических катодах с кулоновской силой нет перемещения зарядов, отклик Чака/Дечака превосходен. Однако из-за малой адсорбционной силы для адсорбции требуется высокое напряжение.
В электрохимическом слое (ЭСП) типа Джонсона-Рабека между пластиной и ЭСП помещается материал с определённой степенью проводимости. При подаче напряжения на электрод ЭСП заряды перемещаются в керамике и концентрируются вблизи поверхности, сближая положительные и отрицательные заряды, что приводит к возникновению сильной адсорбционной силы.
Принцип регулирования температуры пластины
Регулирование температуры пластины осуществляется косвенно, посредством теплового контакта между терморегулируемым электродом с обратной стороны пластины. Циркуляция охлаждающей жидкости обеспечивает поддержание заданной температуры электрода. Поскольку передача тепла от электрода к пластине посредством физического контакта недостаточна, в настоящее время между пластиной и электродом прокалывается поток гелия (He), что способствует теплопроводности. Поскольку гелий легче воздуха и других травильных газов, скорость его молекулярных перемещений высока, и он перемещается между пластиной и электродом, перенося тепловую энергию. Более того, теплопроводность гелия примерно в шесть раз выше, чем у воздуха и других травильных газов, что обеспечивает превосходный контроль температуры.
Fountyl Technologies Pte Ltd. Компания Fountyl, расположенная в Сингапуре, производит электростатический держатель, который обеспечивает нормальную работу в вакууме. Он используется для зажима и контроля температуры пластин в высоковакуумной плазме или специальных газовых средах, помогая полупроводниковому технологическому оборудованию изменять электрические характеристики и физическую форму определенных участков пластины для выполнения определенных функций. Кроме того, посредством ряда других сложных и ответственных процессов пластина в конечном итоге преобразуется в сложную Интегральная схема структура. еЭлектростатические зажимные приспособления и электростатические нагреватели зажимных приспособлений широко используются в процессах изготовления полупроводниковых сердечников и являются одними из основных компонентов в таких ключевых процессах, как ионная имплантация, травление и осаждение из паровой фазы. и популярный товар в Юго-Восточной Азии и по всему миру, приглашаем к контакту и дальнейшим переговорам!
