Руководство по эксплуатации электростатического патрона
Этапы операции
Подготовка среды и проверка оборудования для обеспечения стандартной работы герметизации вакуумной полости, а также проверка электродных линий, циркуляции газа He и рабочего состояния охлаждающего устройства.
Очистите поверхность держателя, чтобы остаточные частицы не повлияли на плоскостность пластины.
Размещение и позиционирование пластин
Пластина захватывается выталкивателем, который поднимается. После попадания пластины в полость выталкиватель медленно опускается, обеспечивая контакт пластины с поверхностью держателя..
Отрегулируйте положение пластины, обеспечьте совмещение области процесса (например, области травления графики).
Начать электростатическую адсорбцию
Применение постоянного токаВысоковольтная электростатическая адсорбция (обычно QianFuJi), создаваемая электростатическим полем электрода, создает заряд пластины, адсорбция формирует кулоновскую силу.
Режим двойного электрода для синхронной равномерности нагрузки положительного и отрицательного напряжения с целью улучшения адсорбции.
Контроль температуры и введение газа Не
Газообразный гелий вводится через канал обратного потока гелия для регулирования температуры на задней стороне пластины (обычно в диапазоне от -20 °C до 150 °C) с целью оптимизации однородности процесса.
Контролируйте давление и расход газа Не для обеспечения эффективности рассеивания тепла и стабильности адсорбции.
Мониторинг сигналов обратной связи по силе адсорбции в режиме реального времени (например, колебания давления противотока) для определения того, полностью ли приклеилась пластина.
В сочетании с данными датчика для регулировки электростатического напряжения или параметров газа He изменяется температура процесса.
Десорбция и удаление пластин
Отключите электростатическое напряжение и устраните остаточный заряд через цепь разряда.
Напёрсток снова поднимается и взаимодействует с механическим рычагом выдвижных пластин, избегая резкого ускорения, приводящего к отклонению смещения.
Безворсовые тряпки, смоченные изопропиловым спиртом (ИПС) и деионизированной водой (ДИ), излишки смазки и чистящие салфетки, используемые на месте.
Регулируемая версия биполярного ESC может изменять температуру поверхности во время выполнения одной формулы.
Из-за этого конкретные формулы начала и окончания параметров настройки ESC могут отличаться.
Настраиваемая конфигурация ESC в процессе работы модуля имеет дополнительное окно настройки ESC, а именно «обслуживание \ ESC».
В окне «Обслуживание\ESC» можно найти значения настроек следующих параметров:
- ESCChargingTime
- ESCReversePolarityDeclampVoltSetpoint
- ESCReversePolarityDechuckTime
- ESCClampVoltageSetpoint
- ESCHoldingVoltage
- ESCHeOnDelayTime
Окно «Maintain \ESC» принимает все значения таблицы и автоматически корректирует значения настроек.
В ESCChargingTime ESCHeOnDelayTime
ESCReversePolarityDeclampVoltSetpoint и
ESCReversePolarityDechuckTime температура поверхности на основе настраиваемого ESC.
Особенностью является то, что правильное значение параметра находится в начале, при зажиме или ослаблении последовательности температур по двум областям (внутренней и внешней области) в нижней части температуры решения.
В процессе производства полупроводников, Электростатический патрон Они не только надежно фиксируют прецизионную подложку, но и обеспечивают превосходное точное позиционирование и стабильность. Эти характеристики критически важны для таких ключевых процессов, как фотолитография и травление. Использование электростатического держателя обеспечивает эффективную защиту пластин, предотвращая их повреждение и, таким образом, гарантируя производство высококачественных и высокопроизводительных чипов.
Fountyl Technologies со штаб-квартирой в Сингапуре, пористый патрон (пористый вакуумный патрон, микропористый Керамический патрон, нанопористый вакуумный зажимной патрон, пористый керамический зажимной патрон из карбида кремния, пористый керамический зажимной патрон из оксида алюминия, микропористый керамический вакуумный зажимной патрон) могут использоваться с японским, немецким, израильским, американским и отечественным оборудованием, демонстрируя превосходные эксплуатационные характеристики продукта и хорошее индивидуальное обслуживание.
