Вафельный патрон

Технология ESC использует электростатическую силу для прочной фиксации пластины или подложки в вакуумной среде технологического оборудования. Этот метод исключает потенциальные повреждения, связанные с традиционными механическими методами фиксации, которые могут поцарапать тонкие поверхности или вызвать трещины. В отличие от Вакуумный патронESC не зависит от разницы давления, что обеспечивает большую управляемость и гибкость при обработке пластин.

7 основных преимуществ использования E-Chuck:

1. Немеханический зажим: патрон E предлагает уникальный метод фиксации предметов с помощью электростатической силы, без необходимости физического давления, как в традиционных механических зажимах. Этот инновационный метод немеханического зажима не только защищает хрупкие материалы, но и обеспечивает надежный контакт без использования громоздких зажимных механизмов, что позволяет экономить ценное пространство.

2. Равномерное усилие зажима: зажимы E охватывают всю поверхность объекта, обеспечивая постоянное и стабильное усилие зажима, что гарантирует надёжный захват и устойчивость. Их способность равномерно выравнивать пластины исключительно выдающаяся, превосходя производительность вакуумных зажимов, которым обычно сложно добиться ровной поверхности. Эта равномерность критически важна для сохранения целостности и плоскостности подложки на протяжении всего процесса производства.

3. Контроль температуры: Ещё одним важным преимуществом электростатических присосок является возможность контролировать температуру в процессе производства. Электростатический присос использует электричество для нагрева или охлаждения подложки по мере необходимости. Это обеспечивает наилучшие условия обработки и снижает термическую нагрузку на чувствительные материалы.

4: Вуниверсальность: Патрон E обладает высокой адаптивностью и подходит для любых материалов, форм и размеров. Электронные патроны обеспечивают многофункциональное зажимное решение для фиксации полупроводниковых пластин, плоских дисплеев или тканевых материалов.

5. Сокращение загрязнения частицами: патрон E не контактирует с объектом, тем самым минимизируя риск загрязнения частицами в чистой комнате. Эта возможность критически важна в производстве полупроводников, поскольку даже мельчайшие частицы могут повлиять на производительность и выход годных кристаллов.

6. Повышение производительности: Электромагнитный патрон обеспечивает надежность и стабильность зажима, способствуя повышению производительности в промышленности. Точность управления и надежность максимально сокращают время простоя, вызванное ошибками при обработке материалов. Таким образом, электрический патрон обеспечивает более высокую эффективность.

7. Экономическая эффективность: Хотя первоначальные инвестиции в патрон типа E выше, чем в традиционные механические приспособления, его долгосрочная экономическая эффективность весьма превосходна. По сравнению с вакуумными патронами, они значительно сокращают отходы материала, повышают производительность процесса и требуют меньших затрат на техническое обслуживание. Кроме того, сочетание мониторов и датчиков позволяет операторам получать данные о производительности в режиме реального времени, что позволяет оптимизировать планы технического обслуживания и повысить эффективность работы.

01/ Патрон с низкой утечкой

02/ Высоко- и низкотемпературные патроны

03/ Высоковольтный и сильноточный патрон

04/ Патрон с мелкими отверстиями

05/ Быстрая замена верхних дисковых патронов

06/ Система контроля температуры

07 / Новый индивидуальный тип упаковочного патрона

Многоканальное решение для точного контроля температуры при испытаниях современных корпусов микросхем

◆Разработка полного набора тестовых решений

◆Предоставить имитационный анализ схемы

◆Тестовая техническая поддержка

08/ Индивидуальный патрон для оборудования по ремонту лазерного сопротивления

Индивидуальные патроны для оборудования по ремонту сопротивлений

◆Ток утечки 0,00001 мА

◆Точность многоканального контроля температуры±1 ℃

◆Рабочая температура: от комнатной температуры до 150 ℃

09/ Индивидуальный патрон для оборудования для проверки пленки

Индивидуальные зажимные патроны для оборудования для проверки пленки

◆Обеспечить связь 485

◆Точность многоканального контроля температуры составляет ±1℃.

◆Рабочая температура: от комнатной температуры до 150 ℃

10/ Другие виды индивидуального дизайна

Предоставляем различные услуги по проектированию патронов

◆Профессиональное оборудование и анализ материалов

◆Трехмерное измерение данных

◆Анализ имитационного моделирования

11/ Услуги по обработке патронов

Предоставляем различные услуги по обработке патронов

Компания FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. LTD., расположенная в Сингапуре, специализируется на технологиях формования, спекания и обработки керамических материалов, обслуживает потребителей полупроводников. Её продукция: карбидкремниевые патроны, пористые керамические вакуумные патроны. Воздушный плавающий стол, керамический концевой эффектор и керамическая направляющая, обращайтесь к нам для дальнейшего потенциального делового сотрудничества.