दस वर्षों से अधिक समय से, सेमीकंडक्टर निर्माण में इमर्शन लिथोग्राफी मुख्य एक्सपोज़र तकनीक रही है।
लेज़र को वेफर पर केंद्रित किया जाता है, एक प्रकाश स्थान को रोशन किया जाता है, और परावर्तित प्रकाश को प्राप्तकर्ता तल पर पुनः केंद्रित किया जाता है, और प्रकाश के विश्लेषण के माध्यम से, सिलिकॉन वेफर की सतह को...
