Seluruh proses semikonduktor perlu dibersihkan berulang kali, dan proses pembersihan dilakukan melalui industri semikonduktor, yang mencakup lebih dari 30% dari total proses produksi.
ASML didirikan pada tanggal 1 April 1984 sebagai ASM Litografi. Misi usaha patungan antara Philips dan ASM International ini adalah untuk mengkomersialkan PAS 2000, wafer stepper yang dikembangkan oleh Philips...