يتم تركيز الليزر على الرقاقة، ويضيء نقطة ضوئية، ويتم إعادة تركيز الضوء المنعكس على المستوى المستقبل، ومن خلال تحليل الضوء، يتم تحديد سطح رقاقة السيليكون...
تتمثل إحدى مزايا EUV في تقليل خطوات معالجة الرقاقة، كما أن استخدام EUV بدلاً من تقنية التعريض الضوئي المتعددة التقليدية سوف يقلل بشكل كبير من خطوات الترسيب والحفر ...
