ASML در 1 آوریل 1984 با نام ASM Lithography تاسیس شد. ماموریت این سرمایه گذاری مشترک بین فیلیپس و ASM اینترنشنال تجاری سازی PAS 2000، یک ویفر استپر توسعه یافته توسط فیلیپس است.
شرکت های نیمه هادی پیشرو در جهان در حال رقابت برای تولید تراشه های 2 نانومتری برای تامین انرژی نسل بعدی گوشی های هوشمند، مراکز داده و هوش مصنوعی (AI) هستند.
