दस वर्षों से अधिक समय से, सेमीकंडक्टर निर्माण में इमर्शन लिथोग्राफी मुख्य एक्सपोज़र तकनीक रही है।
लिथोग्राफी तकनीक फोटोग्राफिक तकनीक और फ्लैट प्रिंटिंग तकनीक के आधार पर विकसित एक प्रमुख अर्धचालक तकनीक है।
