박막증착(Thin Film Deposition)은 기판 위에 나노 크기의 필름을 증착한 후 에칭, 폴리싱 등의 공정을 반복하여 전도성 또는 절연성 필름을 많이 적층하는 공정입니다.
에피택시는 마이크로 전자공학 및 광전자공학 제조 공정에서 매우 중요한 위치를 차지하는 결정 성장 또는 재료 증착 기술을 의미합니다.
