수소 기반 플라즈마로 전환하면 GaN 기판의 고속 에칭이 보장되며, 일본 오사카 대학의 엔지니어들은 질화갈륨(GaN)을 얇게 만드는 데 새로운 돌파구를 마련했다고 주장합니다.
다공성 척 테이블, 일컬어: 다공성 세라믹 진공 흡입기금속(또는 세라믹) 베이스와 특수 다공성 세라믹 조합, 내부 정밀 공기 전도 설계로 구성됩니다.