집
재료
내식성 부품, 씰 부품, 고온 내성 부품, 가이드 레일 및 사각 빔에 사용되는 탄화 규소
탄화규소 세라믹은 고강도, 고경도, 고탄성률, 우수한 고온 안정성(예: 높은 열전도도, 낮은 열팽창 계수, 우수한 비강성 및 광학 처리 특성)과 같은 상온에서 우수한 기계적 특성을 가지며 특히 적합합니다. 정밀 세라믹 구조 부품용 포토리소그래피 기계 및 기타 집적 회로 장비 제조에 사용됩니다. 포토리소그래피 기계 정밀 이동 공작물 테이블, 뼈대, 흡입 컵, 수냉식 플레이트 및 정밀 측정 거울, 격자 및 기타 세라믹 구조 부품에 사용되는 Fountyl 신소재는 수년간의 기술 연구 끝에 대형 크기, 얇은 벽을 해결합니다. 탄화 규소 구조 부품의 중공 및 기타 복잡한 구조 정밀 가공 및 준비 문제로 인해 이러한 종류의 정밀 탄화 규소 구조 부품 준비 기술의 기술적 병목 현상이 해결되었습니다. 집적회로 제조장비에 사용되는 핵심 구조부품의 국산화를 크게 촉진했다.
● 탄화규소 세라믹에는 주로 무압소결 탄화규소(SSiC), 반응소결 탄화규소(RBSC), 화학기상증착 탄화규소(CVD-SiC)가 포함됩니다.
● 탄화규소는 초경질, 내마모성, 높은 열 전도성 및 기계적 강도, 낮은 열팽창 계수, 우수한 열 안정성, 낮은 밀도, 높은 비강성, 비자성 등 다양한 우수한 특성을 가지고 있습니다.
● 현재 탄화규소 세라믹은 탄화규소 세라믹 반사체 및 IC 집적 회로 제조를 위한 고급 장비의 세라믹 부품, 열 교환기, 극한 조건의 방탄 재료 등 항공, 항공우주, 원자력 산업 등 다양한 산업 분야에 적용되고 있습니다.
집적 회로 제조 장비용 정밀 세라믹 구조 부품의 특징:
① 초경량: 모션 관성을 줄이고, 모터 부하를 줄이고, 모션 효율성, 위치 정확도 및 안정성을 향상시키기 위해 구조 부품은 일반적으로 경량 구조 설계를 사용하며 경량율은 60-80%, 최대 90%입니다.
② 높은 형상-위치 정확도: 고정밀 이동 및 위치 결정을 달성하기 위해 구조 부품은 매우 높은 형상 및 위치 정확도가 필요하며 평탄도, 평행도 및 직각도는 1μm 미만이 필요하며 형상 및 위치 정확도는 1μm 미만이어야 합니다. 위치 정확도는 5μm 미만이 필요합니다.
③ 높은 치수 안정성: 고정밀 이동 및 위치 결정을 달성하기 위해 구조 부품은 변형이 발생하지 않는 매우 높은 치수 안정성이 필요하며 열 전도성이 높고 열팽창 계수가 낮으며 큰 치수 변형이 발생하기 쉽지 않습니다. ;
④ 깨끗하고 오염이 없습니다. 구조 부품은 마찰 계수가 매우 낮고 이동 중 운동 에너지 손실이 적으며 연삭 입자 오염이 없어야 합니다. 탄화 규소 재료는 매우 높은 탄성률, 열 전도성 및 낮은 열팽창 계수를 가지며 굽힘 응력 변형 및 열 변형이 발생하기 쉽지 않으며 광택성이 우수하고 우수한 거울로 가공할 수 있습니다. 따라서 탄화규소를 포토리소그래피 기계와 같은 집적회로의 핵심 장비의 정밀 구조 재료로 사용하는 것은 큰 장점이 있습니다. 탄화규소는 우수한 화학적 안정성, 높은 기계적 강도, 높은 열 전도성 및 낮은 열팽창 계수 등의 장점을 가지고 있습니다. 극한 환경의 고온, 고압, 부식 및 방사선에 적용될 수 있습니다.
탄화 규소는 우수한 화학적 안정성, 높은 기계적 강도, 높은 열 전도성 및 낮은 열팽창 계수 등의 장점을 가지며 극한 환경의 고온, 고압, 부식 및 방사선에 적용할 수 있습니다.
집적회로의 핵심장비는 구성재료가 경량, 고강도, 고열전도율, 저열팽창계수 등의 특성을 가지며, 밀도가 높고 결함이 없이 균일해야 합니다. 장비의 초정밀 이동 및 제어를 위해서는 부품의 치수 정확도와 치수 안정성이 매우 높아야 합니다. 탄화 규소 세라믹은 높은 탄성률과 특정 강성을 가지며 쉽게 변형되지 않으며 열 전도성이 높고 열팽창 계수가 낮으며 열 안정성이 높으므로 탄화 규소 세라믹은 현재 집적 회로 제조에 사용되는 우수한 구조 재료입니다. 탄화규소 작업대를 갖춘 리소그래피 기계, 가이드 레일, 반사경, 세라믹 척, 세라믹 엔드 이펙터 등 광범위한 응용 분야를 확보하기 위한 핵심 장비입니다.
Fountyl은 탄화규소 진공 척, 가이드 레일, 반사경, 작업대 등 대형 크기, 속이 빈 얇은 벽, 복잡한 구조, 정밀 탄화규소 구조 부품 준비 기술을 갖춘 집적 회로 제조 핵심 장비의 대표로서 포토리소그래피 기계를 만날 수 있습니다. 그리고 포토리소그래피 기계용 정밀 탄화규소 구조 부품 시리즈가 있습니다.
| 속성 | 파운틸 | ||
| 밀도(g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| 영률(GPa) | 368 | ||
| 굴곡강도(MPa) | 334 | ||
| 와이블 | 8.35 | ||
| CTE(×10-6/℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| 열전도율(W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| 푸아송비 | 0.187 | ||
| 전단 계수(GPa) | 155 | ||