Héich Dicht Keramik Vakuum Chuck (porös Keramik Vakuum Chuck), e spezielle poröse Keramikmaterial mat enger Poregréisst vun 2 bis 3 Mikron, ass net einfach ze blockéieren, héich Vakuumkraaft, Deel vun der Gebitt Adsorptioun, awer kann och als Loft schwiewend Plattform, wäit benotzt an semiconductors, Brieder, Laser Prozess an net-kontakt linear Rutsch.