Die Porengröße des speziellen porösen Keramikmaterials beträgt 2 bis 3 Mikrometer und es ist schwierig, es mit großer Vakuumkraft und Teilflächenadsorption zu verstopfen. Es kann auch als Luftschwebeplattform verwendet werden, die in den Bereichen Halbleiter, Panel, Laserbearbeitung und berührungslose lineare Schieber weit verbreitet ist. Poröse Keramik-Vakuumspannvorrichtungen halten die Übertragung aufrecht, indem sie die Luft abdichten. Der Einsatz des Gerätes ist auf die ebene, porenfreie Oberfläche der Arbeitsplattform beschränkt. Der Benutzer ist in der Regel der Maschinenbediener.