Applicering av keramisk robotarm

Ändeffektorn (keramisk mekanisk arm) utgör toppen av robotarmen och bearbetar och flyttar halvledarskivor mellan positioner. Det är i grunden en robothand, så dess termiska stabilitet och dimensionsstabilitet är viktiga, och den låter inte partiklar eller kemiska föroreningar kontaminera rummet.

Fountyl Technologies PTE Ltd, kan tillverka professionella keramiska halvledararmar för att förbättra funktionaliteten, minska skador på wafers/glaspaneler och stoppa kontaminering från att spridas. Keramisk hanteringsarm har utmärkt hög temperaturbeständighet. Keramisk hanteringsarm används ofta i högtemperaturmiljöer. Keramisk hanteringsarm har bättre slitstyrka än metallhanteringsarm. Keramisk hanteringsarms hårdhet (Mohs hårdhet) upp till 9,HRA 80-90. Hårdheten hos den keramiska hanteringsarmen är inte bara diamant, utan överstiger vida slitstyrkan hos stål och kromstål.

Fountyl erbjuder keramiska robotarmar huvudsakligen uppdelade i: klämtyp, tung lagertyp, vakuumadsorptionstyp. Stödjande keramiska material är: aluminiumoxid, zirkoniumoxid, kiselnitrid, kiselkarbid och så vidare. Storlek: 2", 4", 6", 8", 12", icke-standardstorlek kan anpassas.

99,5 % keramisk mekanisk arm för höghållfasta halvledare, aluminiumoxid keramiska ändeffektorer och keramiska armar har utmärkt styrka, styvhet, slitstyrka, elektriskt motstånd, hög termisk stabilitet, hög korrosionsbeständighet och låg vikt. De utgör änden av robotarmen för att hantera och flytta halvledarskivor med större effektivitet och precision. Aluminiumoxidkeramik som används i halvledarindustrin har hög renhet, lågt spårmetallinnehåll och starka dielektriska egenskaper, som kan bilda processkammarens material för CVD, PVD och plasmaetsning och även bilda den interna processytan. Fountyl är en ledande teknisk keramiktillverkare som betjänar halvledarindustrin med precisionskräddarsydd tillverkning.

Karaktär

• Hög precision

• Hög oxidations- och slitstyrka

• Hög värme- och korrosionsbeständighet

• Hög elektrisk isolering

• Hög termisk stabilitet

• Hög hårdhet och styvhet

Fountyl är en specialiserad tillverkare av halvledarkeramiska delar, som tillverkar keramiska delar med olika specifikationer enligt parametrar eller ritningar.