Anvendelse af keramisk robotarm

Endeeffektoren (keramisk mekanisk arm) danner toppen af ​​robotarmen og bearbejder og flytter halvlederskiver mellem positioner. Det er dybest set en robothånd, så dens termiske stabilitet og dimensionsstabilitet er vigtige, og den vil ikke lade partikler eller kemiske forurenende stoffer forurene rummet.

Fountyl Technologies PTE Ltd, kan fremstille professionelle keramiske halvlederarme for at forbedre funktionaliteten, reducere skader på wafers/glaspaneler og forhindre forurening i at sprede sig. Keramisk håndteringsarm har fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer. Keramisk håndteringsarm bruges ofte i højtemperaturmiljøer. Keramisk håndteringsarm har bedre slidstyrke end metalhåndteringsarm. Keramisk håndteringsarmshårdhed (Mohs hårdhed) op til 9,HRA 80-90. Hårdheden af ​​den keramiske håndteringsarm er ikke kun sekundær efter diamant, men overstiger langt slidstyrken af ​​stål og kromstål.

Fountyl tilbyder keramiske robotarme hovedsageligt opdelt i: klemmetype, tunge lejetype, vakuumadsorptionstype. Understøttende keramiske materialer er: aluminiumoxid, zirconiumoxid, siliciumnitrid, siliciumcarbid og så videre. Størrelse: 2", 4", 6", 8", 12", ikke-standard størrelse kan tilpasses.

99,5% keramisk mekanisk arm til højstyrke halvledere, aluminiumoxid keramisk endeeffektor og keramiske arme har fremragende styrke, stivhed, slidstyrke, elektrisk modstand, høj termisk stabilitet, høj korrosionsbestandighed og let vægt. De udgør enden af ​​robotarmen til håndtering og flytning af halvlederwafere med større effektivitet og præcision. Aluminiumoxidkeramik, der anvendes i halvlederindustrien, har høj renhed, lavt spormetalindhold og stærke dielektriske egenskaber, som kan danne proceskammermaterialet til CVD, PVD og plasmaætsning og også danne den indre procesoverflade. Fountyl er en førende teknisk keramisk producent, der betjener halvlederindustrien med præcision, specialfremstilling.

Karakter

• Høj præcision

• Høj oxidations- og slidstyrke

• Høj varme- og korrosionsbestandighed

• Høj elektrisk isolering

• Høj termisk stabilitet

• Høj hårdhed og stivhed

Fountyl er en specialiseret producent af halvlederkeramiske dele, der fremstiller keramiske dele med forskellige specifikationer i henhold til parametre eller tegninger.