セラミックロボットアームの応用

エンドエフェクター (セラミック機械アーム) はロボットアームの上部を形成し、半導体ウェーハを処理して位置間で移動させます。 基本的にはロボットハンドであるため、熱安定性と寸法安定性が重要であり、粒子や化学汚染物質によって部屋が汚染されることはありません。

Fountyl Technologies PTE Ltd は、機能を強化し、ウェーハ/ガラス パネルへの損傷を軽減し、汚染の拡大を防ぐための専門的な半導体セラミック アームを製造できます。セラミック製ハンドリングアームは耐高温性に優れています。 セラミック製ハンドリングアームは高温環境でよく使用されます。セラミック製ハンドリングアームは金属製ハンドリングアームよりも耐摩耗性に優れています。 セラミックハンドリングアーム硬度（モース硬度）9、HRA 80-90まで。 セラミック製ハンドリングアームの硬度はダイヤモンドに次ぐものではなく、鋼やクロム鋼の耐摩耗性をはるかに上回ります。

Fountylでは、主にクランプタイプ、重量ベアリングタイプ、真空吸着タイプのセラミックロボットアームを提供しています。サポートするセラミック材料は、アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素などです。 サイズ:2インチ、4インチ、6インチ、8インチ、12インチ、非標準サイズもカスタマイズできます。

高強度半導体用99.5%セラミックメカニカルアーム、アルミナセラミックエンドエフェクターおよびセラミックアームは、優れた強度、剛性、耐摩耗性、電気抵抗、高い熱安定性、高い耐食性、軽量を備えています。 これらは、より効率的かつ正確に半導体ウェーハを取り扱い、移動させるためのロボット アームの端を形成します。 半導体産業で使用されるアルミナ セラミックは、高純度、低微量金属含有量、強力な誘電特性を備えており、CVD、PVD、プラズマ エッチングのプロセス チャンバー材料を形成したり、内部プロセス表面を形成したりできます。 Fountyl は、精密なカスタム製造で半導体業界にサービスを提供する大手テクニカル セラミック メーカーです。

キャラクター

• 高精度

• 高い耐酸化性と耐摩耗性

• 高い耐熱性と耐腐食性

・高い電気絶縁性

• 高い熱安定性

• 高い硬度と剛性

Fountylは半導体セラミック部品の専門メーカーであり、パラメータや図面に従ってさまざまな仕様のセラミック部品を製造しています。