Halbleiterkeramik – Sonderanfertigung

Übersicht über den Keramikarm

Aufgrund des Bedarfs an hoher Präzision und Haltbarkeit im Herstellungsprozess nutzt die Halbleiterindustrie zur Herstellung der Komponenten fortschrittliche technische Materialien. Technische Keramik ist aufgrund ihrer hohen Verschleißfestigkeit und chemischen Trägheit sowie ihrer Fähigkeit, ultrapräzise bearbeitet zu werden, um die gewünschte Präzision zu erreichen, die ideale Wahl. Keramische Halbleiterkomponenten aus Aluminiumoxidkeramik ermöglichen es Ihnen, eine hervorragende Teilequalität zu erreichen und Ihren Kunden Halbleiterteile höchster Qualität zu liefern. Wir sind in der Lage, branchenführende Präzisionskontrollniveaus zu erreichen: minimale Toleranzen von 0,001 mm und minimale Oberflächenrauheit von Ra 0,1 μm. Ein geringer Oberflächenkontakt verringert das Risiko einer negativen Beeinflussung der Wafergeometrie.

Verfügbares Material

※ Kompaktkeramik/poröse Keramik

※ Aluminiumoxid (Al2O3-Aluminiumoxid), Reinheit: 95 %, 96 %, 97 %, 98 %, 99 %, 99,5 %, 99,7 %, 99,9 %, 99,99 %

※ Zirkonoxid macht Aluminiumoxid härter

※ Zirkonoxid (ZrO2, Zirkonoxid) und YSZ (Yttriumstabilisiertes Zirkonoxid)

※ Siliziumnitrid (Si3N4) und Siliziumkarbid (SiC)

FOUNTYL Technologies PTE Ltd. bietet die Herstellung von Keramikteilen aus fortschrittlichen technischen Keramikmaterialien an, um Ihren Anwendungsanforderungen gerecht zu werden, einschließlich Keramikplatten, Rohren, Stäben und kundenspezifischen Teilen verschiedener Formen. Sie sind sich nicht sicher, welches Material für Ihre Anwendung das richtige ist? Klicken Sie auf den Leitfaden oben, um ihn anzusehen, oder kontaktieren Sie uns direkt. Wir helfen Ihnen gerne weiter.

Merkmale des Keramikarms

※ Hohe Verschleißfestigkeit

※ Hervorragende Oxidationsbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit

※ Geringe Wärmeausdehnung

※ Hohe Haltbarkeit

※ Hohe Härte und Steifigkeit

※ Elektrische Isolierung

Wir bedienen Kunden in der globalen Halbleiterindustrie. Halbleiterkeramikkomponenten sind in der Regel nicht standardisiert und können nach Kundenwunsch gefertigt werden.

Sonderanfertigung

Keramikarme/Klauen/Finger:

In Halbleiter-Elektrogeräten werden häufig chemische Produkte verwendet, und die von mechanischen Elektroprodukten erzeugten Produkte müssen zur Reinigung an den nächsten Ort transportiert werden können, und der mechanische Arm ist dieses Produkt. Um zu vermeiden, dass die Verbindung chemischer Arzneimittel die biochemische Reaktion von Roboterarmprodukten beeinträchtigt, haben viele Hersteller damit begonnen, Roboterarme aus Keramik zu verwenden. Der Roboterarm bearbeitet und bewegt den Halbleiterwafer zwischen verschiedenen Positionen. Da es sich im Grunde um eine Roboterhand handelt, ist es wichtig, dass sie über thermische Stabilität und Dimensionsstabilität verfügt und dass keine Partikel oder chemischen Verunreinigungen die Kammer verunreinigen können.

Zu den Hauptvorteilen der Verwendung von Aluminiumoxidkeramik gegenüber Aluminiumoxidmetall zählen bei dieser Anwendung die Steifigkeit und hohe Festigkeit, was bedeutet, dass der Roboterarm schneller als Aluminiumoxid in der endgültigen Position fixiert wird. Darüber hinaus bewegt sich der Roboter selbst schneller, wodurch die Positionierungsgenauigkeit optimiert und die Effizienz verbessert wird. In der Robotik ist ein Endeffektor ein Gerät oder eine Komponente, die am Ende eines Roboterarms befestigt ist. Der Aufbau des Endeffektors sowie die Art der Antriebsprogrammierung und Hardware hängen von der beabsichtigten Aufgabe ab.

Der Roboterarm kann nur an einige Endeffektor-Aufgabenmodi angepasst werden, ohne dass die Hilfshardware und/oder die Programmierung geändert werden muss. Es ist beispielsweise unmöglich, den Greifer direkt durch einen Schraubendrehereinsatz zu ersetzen und gute Ergebnisse zu erwarten. Es war notwendig, die Programmierung der Robotersteuerung zu ändern und einen anderen Satz Endeffektormotoren zu verwenden, um das Drehmoment statt der Klemmkraft zu fördern. Der Greifer kann dann durch einen Kopfmitnehmer ersetzt werden.

Spezifikationen des Keramik-Endeffektors:

Standard-Paddel- und Gabeldesign

Vakuum und Nicht-Vakuum

Hohe Temperaturbeständigkeit

Chemische Resistenz

Langlebig und zuverlässig

Keramikarm

Alias: Keramikfinger

Material: Aluminiumoxid 99,5 %

Farbe weiß

Toleranz: 0,01 mm

Ebenheit: O.O5

Branche: Halbleiter/Solarwafer