Kernprodukte

Wafer-Pin-Spannfutter (auch Konvexfutter genannt) ist ein in der Halbleiterindustrie häufig verwendetes Industriespannfutter mit hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und anderen Eigenschaften. Es besteht normalerweise aus Siliziumkarbid- oder Aluminiumoxid-Keramikmaterial mit einer erhabenen punktförmigen Struktur auf der Oberfläche, um eine bessere Adsorption und Stabilität zu gewährleisten.

Konvexe Spannfutter werden häufig in Halbleiterproduktionsanlagen zum Aufnehmen, Fixieren, Übertragen und Handhaben von Siliziumwafern, Wafern und verschiedenen Werkstücken und Materialien eingesetzt.

Ringnutfutter (Nutfutter) ist ein in der Halbleiterindustrie häufig verwendetes Industriefutter mit hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und anderen Eigenschaften. Normalerweise aus Siliziumkarbid- oder Aluminiumoxid-Keramikmaterialien hergestellt.

Es wird häufig in Halbleiterproduktionsanlagen zum Aufnehmen, Fixieren, Übertragen und Handhaben von Siliziumwafern, Wafern und verschiedenen Werkstücken und Materialien eingesetzt.

Mikroporöse Keramik-Vakuumspannvorrichtungen werden auch als mikroporöse Nano-Vakuumspannvorrichtungen bezeichnet. Dies bedeutet, dass durch einen speziellen Nanopulver-Herstellungsprozess ein einheitlicher Feststoff- oder Vakuumkörper erzeugt wird und durch Hochtemperatursintern eine große Anzahl verbundener oder geschlossener Keramikmaterialien im Inneren des Materials erzeugt wird . Mit seiner speziellen Struktur bietet es die Vorteile hoher Temperaturbeständigkeit, Verschleißfestigkeit, chemischer Korrosionsbeständigkeit, hoher mechanischer Festigkeit, einfacher Regeneration und ausgezeichneter Thermoschockbeständigkeit, die für Hochtemperatur-Filtrationsmaterialien, Katalysatorträger und poröse Kraftstoffelektroden verwendet werden können Zellen, empfindliche Komponenten, Trennmembranen, Biokeramik usw. bieten einzigartige Anwendungsvorteile in der chemischen Industrie, im Umweltschutz, in der Energie, in der Elektronik und in der Biochemie.

Der Keramik-Endeffektor mit hoher Funktionalität, Hochtemperaturbeständigkeit und hoher Verschleißfestigkeit wird über einen langen Zeitraum in einer Umgebung mit hohen Temperaturen verwendet, ohne Schäden zu verursachen, und der Verschleiß des zu bewegenden Materials wird ebenfalls auf ein Minimum reduziert, wodurch die Diffusion effektiv gesteuert wird von Störstoffen an den bewegten Körper, auch die Oberfläche kann nach Kundenwunsch mit Sonderabmessungen und hohen Funktionseigenschaften bearbeitet werden.

Keramischer Endeffektor für Chip-Disk-Antrieb von Halbleitergeräten, Präzisionskeramikteile haben eine gute strukturelle Festigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Druckbeständigkeit, gute Präzision, gute Parallelität, dichte und gleichmäßige Organisation, hohe Festigkeit. Es wird seit vielen Jahren in Halbleiterfabriken eingesetzt. Fountyl verfügt über eine Gruppe exzellenter Ingenieure mit einzigartigen und hervorragenden Fähigkeiten in Projekten zur Verarbeitung von Keramik-Alien. Die Alien-Verarbeitungstechnologie ist die Stärke unseres Unternehmens.

Luftschwimmende Bewegungsplattform aus Siliziumkarbid-Keramik, mobile Ultrapräzisionsplattform aus Siliziumkarbid, Führungsschiene aus Siliziumkarbid, Gleitschiene aus Siliziumkarbid, Vakuumsauger aus Siliziumkarbid, Spiegel aus Siliziumkarbid, Balken aus Siliziumkarbid, Werkstücktisch aus Siliziumkarbid und eine Reihe von Präzisions-Siliziumkarbid Strukturteile für Lithographiemaschinen sind eine der Kernkomponenten der Lithographiemaschine. Seine Hauptfunktion besteht darin, den Wafer zu transportieren, um eine hochpräzise Hochgeschwindigkeitsbewegung gemäß der festgelegten Bewegungsbahn durchzuführen und eine Reihe von für die Belichtung erforderlichen Aktionen durchzuführen, einschließlich Auf- und Abwärtsbewegungen, Ausrichtung, Messung des Waferprofils und Belichtung, die eine Bewegungsgenauigkeit erfordern von 2nm bei Hochgeschwindigkeitsbewegungen.

Der Präzisionskeramikkolben besteht aus zwei Teilen, der Kolbenhülse und der Kolbenstange. Es wird aus importiertem hochreinem Rohpulver durch statisches Pressen geformt, bei einer Temperatur von 1700 Grad gesintert und anschließend präzise bearbeitet. Die angemessene Kontrolle der Kolbenhülse und der Kolbenstange mit Spiel ist sehr hochpräzise, ​​Zylindrizität und Konizität liegen im Mikrometerbereich.