高密度セラミック真空チャック (多孔質セラミック真空チャック) は、孔径 2 ～ 3 ミクロンの特殊な多孔質セラミック素材で、詰まりにくく、高い真空力で、一部の領域に吸着します。
高純度グラファイトは、高温耐性、良好な電気伝導性、化学的安定性を備えており、半導体分野の重要な材料となっています。
