主力製品

ウエハピンチャック（凸チャックとも呼ばれる）は、半導体業界で一般的に使用される工業用チャックで、高温耐性、耐食性、耐摩耗性などの特性を備えています。 通常、炭化ケイ素またはアルミナセラミック材料で作られており、表面に隆起した点のような構造があり、より優れた吸着性と安定性を提供します。

コンベックスチャックは、シリコンウェーハ、ウェーハ、およびさまざまなワークピースや材料を吸着、固定、搬送、ハンドリングするために半導体製造装置で広く使用されています。

リング溝チャック（溝チャック）は、高温耐性、耐食性、耐摩耗性などの特性を備え、半導体業界で一般的に使用される工業用チャックです。 通常、炭化ケイ素またはアルミナセラミック材料で作られています。

半導体製造装置においてシリコンウエハーやウエハー、各種ワークや材料の吸着、固定、搬送、ハンドリングなどに幅広く使用されています。

微多孔質セラミック真空チャックは、ナノ微多孔質真空チャックとも呼ばれます。これは、特殊なナノ粉末製造プロセスを通じて均一な固体または真空体が生成され、高温焼結によって材料の内部に多数の接続または閉じたセラミック材料が生成されることを意味します。 。 特殊な構造により、高温耐性、耐摩耗性、耐化学腐食性、高い機械的強度、容易な再生、優れた耐熱衝撃性の利点を有し、高温濾過材、触媒担体、燃料の多孔質電極などに使用できます。細胞、敏感なコンポーネント、分離膜、バイオセラミックスなどは、化学産業、環境保護、エネルギー、エレクトロニクス、生化学において独自の応用利点をもたらします。

高機能、高温耐久性、耐摩耗性の高いセラミックエンドエフェクタは、高温環境下で長期間使用しても損傷を与えることなく、移動する材料の摩耗も最小限に抑えられ、拡散を効果的に制御します。移動体への不純物の除去や、お客様のご要望に応じた特殊寸法・高機能な表面処理も可能です。

半導体装置のチップディスクドライブ用セラミックエンドエフェクター、精密セラミック部品は、良好な構造強度、高温耐性、高圧耐性、良好な精度、良好な平行度、緻密で均一な組織、高強度を備えています。 半導体製造工場で長年使用されています。 Fountyl には、セラミックエイリアン加工プロジェクトにおいてユニークで優れたスキルを備えた優秀なエンジニアのグループがいます。 異物処理技術が当社の強みです。

炭化ケイ素セラミックエア浮上移動プラットフォーム、炭化ケイ素超精密モバイルプラットフォーム、炭化ケイ素ガイドレール、炭化ケイ素スライドレール、炭化ケイ素真空吸盤、炭化ケイ素ミラー、炭化ケイ素ビーム、炭化ケイ素ワークピーステーブルおよび一連の精密炭化ケイ素リソグラフィー装置の構造部品は、リソグラフィー装置のコアコンポーネントの 1 つです。 主な機能は、ウエハを搬送し、指定された移動軌跡に従って高速・超精密移動を行い、動作精度が要求される上下・アライメント・ウエハプロファイル計測・露光といった露光に必要な一連の動作を完了することです。高速動作の場合は2nm程度。

精密セラミックピストンはピストンスリーブとピストンロッドの2つの部分から構成されています。 輸入された高純度の原料粉末を静的プレスによって成形し、1700度の温度で焼結し、その後精密機械加工によって形成されます。 ピストンスリーブとピストンロッドのクリアランス管理は非常に高精度であり、円筒度やテーパーはミクロンレベルです。