耐食部品、シール部品、耐高温部品、ガイドレール、角梁などに使用される炭化ケイ素

炭化ケイ素セラミックスは、高強度、高硬度、高弾性率などの常温での優れた機械的特性、高熱伝導率、低熱膨張係数などの優れた高温安定性、優れた比剛性および光学加工特性を有しており、特に適しています。精密セラミック構造部品用のフォトリソグラフィー装置およびその他の集積回路装置の準備用。 フォトリソグラフィー機械の精密移動ワークピーステーブル、スケルトン、吸盤、水冷プレートおよび精密測定ミラー、回折格子およびその他のセラミック構造部品に使用されるなど、長年の技術研究を経たFountyl新素材は、大型、薄壁、炭化ケイ素構造部品の中空およびその他の複雑な構造の精密加工と準備の問題、この種の精密炭化ケイ素構造部品の準備技術の技術的ボトルネックを突破します。 これにより、集積回路製造装置に使用される主要な構造部品の国産化が大幅に促進されました。

集積回路製造の主要な技術と装置には、主にリソグラフィー技術とリソグラフィー装置、膜成長技術と装置、化学機械研磨技術と装置、高密度ポストパッケージング技術と装置などが含まれ、すべてモーションコントロール技術とドライブが含まれます。高効率、高精度、高安定性を備えた技術であり、構造部品の精度や構造材料の性能に対して非常に高い要求が求められます。 リソグラフィー装置のワークテーブルを例にとると、ワークテーブルは主に露光動作を完了する役割を担っており、高速、大ストローク、ナノレベルの超精密動作の6自由度の実現が求められます。