シリコンは何十年にもわたってトランジスタの世界を支配してきました。 しかし、それは変わりつつあります。 2 つまたは 3 つの材料からなる化合物半導体が開発されており、独自の利点と優れた特性を備えています。
半導体プロセス全体で繰り返し洗浄する必要があり、洗浄プロセスは半導体業界全体で行われており、全生産プロセスの 30% 以上を占めています。