Die unternehmerische Erfolgsgeschichte von ASML: Der Weg zum Wachstum eines Lithografie-Giganten
ASML wurde am 1. April 1984 als ASM Lithography gegründet. Ziel dieses Joint Ventures zwischen Philips und ASM International ist die Vermarktung des PAS 2000, eines von Philips entwickelten Wafer-Steppers.
1,DIndustriekomplex
In den 1960er- und 1970er-Jahren deckten Chiphersteller den Großteil der Halbleiter-Wertschöpfungskette selbst ab – alle Schritte, die zur Herstellung eines fertigen Mikrochips nötig waren. Ende der 1970er- und Anfang der 1980er-Jahre wuchs die Halbleiterfertigungstechnologie dann rasant in Größe und Komplexität. Diese Entwicklung führte zu einer Arbeitsteilung in der Halbleiter-Wertschöpfungskette. Die Halbleiteranlagenindustrie entstand, um High-End-Lösungen von der Stange anzubieten. Dank dieser verfügbaren Standardlösungen ist es für Chiphersteller und -anwender nicht mehr sinnvoll, eigene Chipfertigungsanlagen zu entwickeln.
Spezialisierte Ausrüstungslieferanten sind besonders wichtig für die Entwicklung komplexer Lithografiesysteme zum Drucken von Strukturen auf Mikrochips. Die Verbesserung dieser Systeme, um immer kleinere Strukturen drucken zu können, ist entscheidend für die Umsetzung des Mooreschen Gesetzes. Für Chiphersteller bedeutet eine höhere Anzahl an Transistoren eine höhere Rechenleistung zu geringeren Kosten.
2. Der Prototyp des PAS 2000
In diesem Kontext begann Philips mit der Entwicklung eines eigenen Wafer-Steppers zur Strukturierung von Siliziumwafern. Die Prototypen Silicon Repeater (SIRE) I und II wurden vom Philips Forschungszentrum entwickelt. Aus diesen Forschungsprototypen entstand der Philips Automated Stepper 2000.
Im Philips-Forschungszentrum, wo sich die Philips-Abteilung hauptsächlich auf Grundlagenforschung konzentriert, stellen Wafer-Stepper eine Ausnahme dar. Die Marktnachfrage treibt die Forschung und Entwicklung des Unternehmens zunehmend an, und die Fertigungsanlagen werden vermehrt eingesetzt. Ab 1978 förderte Philips Science & Industry (S&I) die Kommerzialisierung unter dem Namen PAS2000.
3.Industriepolitik, Investoren und Unternehmer
Ab Ende der 1970er-Jahre gestalteten die westeuropäischen Regierungen unter der Führung der Europäischen Kommission ihre Industriepolitik neu. Sie konzentrierten sich auf Innovation und Zusammenarbeit und zielten dabei auf aufstrebende Branchen ab, insbesondere auf die schnell wachsenden Halbleiter- und Mikroelektronikindustrien. Diese Maßnahmen stellten neue Mittel dar, um die Wirtschaft anzukurbeln und, wenn möglich, angeschlagene Konzerne zu sanieren, von denen viele (darunter auch Philips) in Schieflage geraten waren.
Auf Anfrage der Kommission betonten Philips und andere Unternehmen gegenüber ihren jeweiligen Regierungen die Bedeutung dieser Branchen. Nach Erhalt dieser Informationen von Europas größtem Elektronikkonzern hat die niederländische Regierung ein besseres Verständnis des Themas gewonnen und ihre weiteren Maßnahmen entsprechend angepasst.
Steigende Kosten, globaler Wettbewerb und technologische Fortschritte zwingen große Unternehmen, Randgeschäfte abzustoßen und ihre Aktivitäten neu auszurichten. Philips beispielsweise gab die Wafer-Stepper-Produktion auf. Gleichzeitig bieten aufstrebende Risikokapitalgesellschaften sowie unternehmerisch geprägte Start-ups und skalierbare Unternehmen ein neues Paradigma für industrielles Wachstum.
4. Druck, Fortschritte zu erzielen
Anfang 1982 stand Philips mit seinen Lithografie-Ambitionen vor einer großen Herausforderung: Es fehlten dringend Entwicklungsressourcen. Obwohl man sich an IBM, einen externen Kunden für das Evaluierungstool, wandte, herrschte erhebliche Unsicherheit darüber, ob es rechtzeitig zum Sommer 1982 geliefert werden könnte. Die Ingenieure des Philips-Forschungszentrums eilten sofort zu Hilfe. Führungskräfte von S&I reisten regelmäßig nach Den Haag und Brüssel, um zusätzliche Fördermittel von der niederländischen Regierung und der Europäischen Kommission zu erhalten. Unter dem Druck von Zeit, Geld und dem niederländischen Wirtschaftsministerium begann Philips S&I, nach einem Partner für seinen Wafer-Stepper zu suchen. Dies führte zu ersten Gesprächen mit Cobilt, einem Hersteller von Maskenjustierern und -schienen, gefolgt von Gesprächen mit dem Marktführer für Lithografie, PerkinElmer.
Gleichzeitig begann ein Dialog zwischen dem niederländischen Wirtschaftsministerium, Philips und dem aufstrebenden niederländischen Unternehmen ASM International (kurz ASM). Im Rahmen des innovativen Mikroelektronikprojekts ESPRIT der Europäischen Kommission äußerten Chiphersteller Bedenken hinsichtlich ihrer Abhängigkeit von amerikanischer Ausrüstung. Um den Bedürfnissen der Industrie gerecht zu werden, schlugen das Ministerium und Arthur Del Prado persönlich ASM als mögliche Lösung vor.
5.Suche nach Partnerschaften
Philips hielt die Position von ASM jedoch für zu schwach und bevorzugte PerkinElmer. Trotz Del Prados Unternehmergeist und Erfolgen betrachteten die Philips-Manager ASM weiterhin als Newcomer. PerkinElmer, ein großes und diversifiziertes Unternehmen mit einer breiten installierten Basis an Lithografieanlagen, galt als stärkerer Partner. Das Interesse beruhte auf Gegenseitigkeit. Anfang der 1980er-Jahre ermöglichten Wafer-Stepper eine präzisere Steuerung kleinster Strukturgrößen bei akzeptabler Produktivität als PerkinElmers Micraligns. Angesichts des zunehmenden Wettbewerbs war das US-Unternehmen bestrebt, seine Marktposition rasch zu festigen.
Perkin Elmer erwägt eine Partnerschaft mit Philips S&I oder dem Liechtensteiner Startup Censor. Philips wurde aufgrund der Unternehmensressourcen und des fortschrittlichen PAS 2000-Standards bevorzugt. Im geplanten Joint Venture sollte Perkin Elmer eine führende Rolle übernehmen und für Vertrieb und Service verantwortlich sein. Philips sollte Technologie und Fertigungskapazitäten beisteuern. Philips zögerte jedoch, Zugang zu internen Ressourcen wie dem nachgeordneten Philips Research Center zu gewähren. Diese Zurückhaltung führte zu langwierigen Verhandlungen, und schließlich entschied sich Perkin Elmer für eine Partnerschaft mit Censor.
6. Projektdringlichkeit
1983 stand das Wafer-Stepper-Team von Philips S&I, bestehend aus rund 50 Ingenieuren, vor großen Herausforderungen. Für die Modernisierung, Produktion und den Vertrieb der Maschine benötigten sie etwa 120 Millionen Gulden (umgerechnet etwa 245 Millionen Euro zu damaligen Preisen). Trotz Troosts unermüdlicher Bemühungen, darunter die Sondierung von Partnerschaften mit Varian und Panasonic, kam das Wafer-Stepper-Team zu spät. Die Dringlichkeit war spürbar.
7. Beginn von ASML
Am 5. September 1983 gaben Philips und ASM ihre Absicht zur Gründung eines Joint Ventures bekannt. In den folgenden Monaten wurden die Details der Partnerschaft ausgearbeitet. Dabei wurden Anteile des Wirtschaftsministeriums oder seiner Investmentgesellschaften in Betracht gezogen. Es wurden Verhandlungen über einen Einstieg in das Philips-Forschungszentrum geführt. Sach- und Geldbeiträge wurden festgelegt. Ein Renditeplan wurde entworfen. Der ambitionierte und visionäre neue Geschäftsführer Gjalt Smit übernahm die Leitung. Wichtig ist, dass den 50 bestehenden Mitarbeitern von Philips S&I attraktive Beschäftigungsbedingungen angeboten wurden. Da sie jedoch ihr ganzes Berufsleben bei Philips verbracht haben, sehen sie das Joint Venture als eine Art Privatisierung für Philips. Man zögert, einem Start-up ohne Marktzugang zu vertrauen, dessen Schlüsseltechnologien neu entwickelt werden müssen. Trotzdem hat die Gruppe noch 47 Unterzeichner.
Von Anfang an galt ASML als Inbegriff innovationsgetriebenen Unternehmertums und sollte die zukünftige Wirtschaftskraft der Niederlande sichern. Junge Unternehmen wagen sich mit Tatendrang und Enthusiasmus in eine ungewisse, aber hoffnungsvolle Zukunft. Der Umzug nach Veldhoven mag das Ende dieser Geschichte bedeuten, doch für ASML ist er erst der Anfang. Die Anfänge in der Freilufthalle von Philips legten den Grundstein für das Wachstum von ASML zu dem Unternehmen, das wir heute kennen. Das Team ist kreativ und entschlossen, technologische Innovationen voranzutreiben und die Grenzen des Machbaren zu erweitern.
8. Bescheidene Anfänge
Nachdem Philips 1988 ein Joint-Venture-Werk in Taiwan gegründet hatte, begannen wir, den asiatischen Markt zu erschließen. In den USA wuchsen wir von wenigen Mitarbeitern auf 84 an fünf Standorten. Doch in einem hart umkämpften Markt mit vielen Anbietern konnte sich dieses bis dahin wenig bekannte Unternehmen aus den Niederlanden nicht durchsetzen.
ASML hatte zu wenige Kunden, um wirtschaftlich unabhängig zu sein. Erschwerend kam hinzu, dass der Anteilseigner ASMI, der angesichts der geringen Rendite nicht mehr in der Lage war, hohe Investitionen zu tätigen, beschloss, sich zurückzuziehen. Gleichzeitig verschlechterte sich die Lage der globalen Elektronikindustrie zusehends, und Philips kündigte ein massives Sparprogramm an. Das Überleben unseres jungen, kapitalintensiven Lithografieunternehmens stand auf dem Spiel. Angetrieben von der festen Überzeugung, dass Forschung und Entwicklung unerlässlich seien, und dem dringenden Bedarf an Finanzierungsberatung, wandten sich die ASML-Führungskräfte an Philips-Vorstandsmitglied Henk Bodt, der seinen Kollegen schließlich überzeugen konnte, dem Unternehmen in letzter Minute zu helfen.
9. Von der ersten Hilfe bis zum Börsengang
Die Investition hat sich ausgezahlt. Im Laufe des Jahres haben wir unsere bahnbrechende Plattform PAS 5500 auf den Markt gebracht. Dank ihrer branchenführenden Produktivität und Auflösung konnte die PAS 5500 die wichtigsten Kunden gewinnen, die ASML für die Profitabilität benötigt. Dies ist der erste Schritt in Richtung Marktreife.
Die PAS 5500 ist die Plattform, für die ASML bekannt ist. Vor ihrer Markteinführung belegte ASML im Lithografiemarkt den dritten Platz hinter den Giganten Nikon und Canon. Doch der Erfolg der PAS 5500 katapultierte ASML schnell auf den zweiten Platz und legte den Grundstein für das Wachstum zum globalen Marktführer in der Lithografie. Die PAS 5500 entstand aus einer Reihe von Systemen, die in den 1970er-Jahren von Philips-Forschern entwickelt wurden. Der Name der Plattform selbst spiegelt ihre Herkunft und unsere langjährige Partnerschaft mit Philips wider: Philips Automatic Stepper (PAS).
ASML wurde 1995 ein vollständig unabhängiges börsennotiertes Unternehmen und ist an den Börsen in Amsterdam und New York notiert. Philips verkaufte die Hälfte seiner Aktien beim Börsengang und den Rest in den folgenden Jahren. Der Börsengang brachte Kapital für weiteres Wachstum ein, und wir erweiterten unsere Forschungs- und Entwicklungs- sowie Produktionsstätte in Veldhoven De Run, die später zu unserem neuen Hauptsitz wurde.
10.TWINSCAN und die Immersionstechnologie ebneten den Weg
Im Jahr 2001 stellten wir das TWINSCAN-System mit seiner revolutionären Zwei-Stufen-Technologie vor. Diese Systeme belichten einen weiteren Wafer, während sie den nächsten messen und ausrichten. Dadurch werden Produktivität und Genauigkeit des Systems maximiert und der Kundennutzen gesteigert. Im selben Jahr schlossen wir die Übernahme der Silicon Valley Group ab und stärkten so die Kompetenzen von ASML im Bereich der Halbleitertechnologie. Die TWINSCAN AT:1150i wurde 2003 als erste Immersionsanlage eingeführt, gefolgt von der TWINSCAN XT:1250i, der XT:1400i und der ersten in Serie gefertigten Immersionsanlage, der XT:1700i, im Jahr 2006.
2007 führten wir das Immersionssystem TWINSCAN XT:1900i mit einer numerischen Apertur von 1,35 ein – der höchsten Spezifikation der Branche. Mit dieser neuen Technologie ermöglichen wir unseren Kunden die Herstellung kleinerer Chipstrukturen, indem wir Licht durch die Wasserschicht zwischen Linse und Wafer projizieren. Ebenfalls 2007 übernahmen wir BRION, einen führenden Anbieter von Lösungen zur Optimierung von Halbleiterdesign und -fertigung. Dies war der Beginn unserer Strategie der „holistischen Lithografie“. Wir kombinieren unser Wissen über Lithografiesysteme mit unserer Expertise in der Optimierung von Chipfertigungsprozessen vor, während und nach der Lithografie. Ein weiteres Schlüsselprodukt in der Anfangsphase unserer Lithografiestrategie ist YieldStar, unser Messsystem für Echtzeitmessung und -kalibrierung während des Chipfertigungsprozesses. Das erste YieldStar (250D) wurde 2008 an Kunden ausgeliefert.
11.Verändern Sie die Zeiten erneut mit EUV
Anfang 2020 ging die EUV-Technologie in die Serienproduktion, und wir feierten die Auslieferung unseres 100. EUV-Systems. Doch 2020 ist auch aus einem anderen Grund ein bedeutsames Jahr: die COVID-19-Pandemie. Unsere Teams weltweit haben ihre Anpassungsfähigkeit und ihr Improvisationstalent unter Beweis gestellt, indem sie Kunden auf innovative Weise aus der Ferne unterstützten, ihr Fachwissen zur Pandemiebekämpfung einsetzten und sich für lokale Gemeinschaften engagierten.
Im November 2020 wurde die Übernahme der Berliner Glas Gruppe abgeschlossen und das Team der Berliner Glas Gruppe offiziell in der ASML-Familie willkommen geheißen. Die technische Glassparte der Gruppe wurde im April 2021 in die Glas Trosch Gruppe ausgegliedert.
Im Jahr 2023 stellten wir das erste EUV-System der nächsten Generation mit einer numerischen Apertur von bis zu 0,55 (sogenannte „hohe numerische Apertur“) vor. Die Plattform mit dem Namen EXE zeichnet sich durch ein neuartiges optisches Design und eine deutlich höhere Geschwindigkeit aus.
Mit Blick auf die Zukunft wird ASML weiterhin Großartiges leisten. Fountyl Technologies PTE Ltd. konzentriert sich auf die Halbleiterfertigung. Zu den Hauptprodukten gehören: Stiftfutter, poröse Keramikfutter, Keramik-Endeffektoren, Keramik-Vierkantträger und Keramikspindeln. Kontaktieren Sie uns gerne für weitere Informationen!